公开(公告)号：CN109856086A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201910256389.9

申请日：2019-03-29

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 林学春 ,  白云瑞 ,  张景园 ,  张玲 ,  杨莹盈 ,  杨松 ,  黄俊媛

IPC: G01N21/39 ,  G01N21/01

Abstract: 一种基于相位调制的干涉型痕量气体探测系统，包括：DFB光源，用于输出光；信号发生源，一端与所述DFB光源的一端相连，用于对所述DFB光源的输出光进行调制，输出参考信号；光纤隔离器，一端与所述DFB光源的另一端相连，用于抑制回波；MZI光纤干涉仪，与所述光纤隔离器相连，包括：气室，充有待测痕量气体，作为所述MZI光纤干涉仪的信号臂；以及PZT相位调制器，与所述气室并联关系，作为所述MZI光纤干涉仪的参考臂；终端信号处理模块，其一输入端与所述信号发生源相连，其另一输入端经光电二极管与所述MZI光纤干涉仪相连，所述终端信号处理模块用于接收信号发生源输出的参考信号及MZI光纤干涉仪的输出信号，并获取痕量气体浓度信息。