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发明公开
氧化锌基的蓝光发光二极管及其制备方法无效

公开(公告)号：CN1964081A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200510086844.3

申请日：2005-11-10

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 张攀峰 , 丛伟光 , 魏鸿源 , 刘祥林

IPC: H01L33/00

Abstract: 一种氧化锌基的蓝光发光二极管，包括：一衬底，该衬底为圆形；一缓冲层制作在衬底上，该缓冲层有利于提高材料的外延生长质量；一n－氧化锌层制作在缓冲层上，在该n－氧化锌层的边缘刻蚀出环形台阶，该n－氧化锌层有利于作出环形金/钛电极；一i－氧化锌有源层制作在n－氧化锌层上，该i－氧化锌有源层的主要作用是电子空穴复合；一p－氧化锌层制作在i－氧化锌层上，该p－氧化锌层提供注入的空穴；一金/镍层制作在p－氧化锌层上，该金/镍层有利于注入电流的扩散；一金/镍电极制作在金/镍层上，该金/镍电极提供与导线的接触；一环形金/钛电极制作在n－氧化锌层的环形台阶上。

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