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公开(公告)号：CN107498176B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201710652088.9
申请日：2017-08-02
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/352 , B23K26/402
摘要： 本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法，其特征在于，包括以下步骤：利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓，使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化，确定抛光用准分子激光的离焦量，规划表面的扫描路径，调整准分子激光的参数，测定多孔陶瓷的烧蚀阈值Fth，调节准分子激光的输出能量对多孔陶瓷进行抛光，计算抛光前多孔陶瓷的表面凸出粗糙度，计算抛光后多孔陶瓷的表面凸出粗糙度。本发明的方法对多孔陶瓷的热力影响小，不会引起陶瓷材料颗粒剥落、脆断等问题，对抛光材料的尺寸、形状无要求，能够实现薄膜、曲面甚至部分内部结构的抛光，提高了多孔陶瓷抛光效果的辨识度和准确度。
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公开(公告)号：CN107378276B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710651327.9
申请日：2017-08-02
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： B23K26/60 , B23K26/352 , B23K26/362 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法，包括清洗陶瓷零件，将陶瓷零件装配至三维移动平台；扫描所述陶瓷零件的表面轮廓，将所扫描的轮廓模型与标准模型相对比，划分出所述陶瓷零件表面的刻蚀区、抛光区、烧结区；利用准分子激光设备加工所述刻蚀区；对烧结区进行预置送粉，利用长波长激光进行烧结修复；对所述烧结区进行粗抛光；进行加工区整体抛光；扫描所述陶瓷零件的表面粗糙度，完成准分子激光抛光过程。本方法可控性好，便于实现自动化生产，能够实现微区的精密加工，对任何曲面、任意部位进行处理，显著降低对陶瓷基体的影响，保证零件修复与抛光的精度、质量和效率。
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公开(公告)号：CN108414612A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810070807.0
申请日：2018-01-25
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01N27/64
摘要： 本发明涉及一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块，该检测模块包括进气管，进气电磁阀，气体室，压力检测器，质谱分析仪，计算机，真空泵，真空管道电磁阀，卤素气体处理器，惰性气体管道和惰性气体电磁阀。并通过该检测模块实现了准分子激光器放电腔钝化过程气体或者激光器在钝化/运行过程的放电腔的气体检测。通过该检测方法和模块减少了钝化/运行过程中不必要的时间及能源浪费，提高钝化效率和运行效果。
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公开(公告)号：CN104316185B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201410591968.6
申请日：2014-10-29
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01J3/36
摘要： 本发明公开了一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置。本发明利用挡光系统将待测激光中具有特定光谱范围的激光入射到分光系统，并利用所述分光系统将激光分成两束，其中一束进行光谱的探测与显示，另一束进行能量探测，并调节挡光系统以改变通过该挡光系统的激光的光谱范围，并根据所显示的光谱范围以及与所显示的光谱范围对应的能量，获得待测激光的光谱能量分布。挡光系统可通过可调节开口大小和位置的可调狭缝构成。本发明可以同时观测入射激光的光谱及其相应能量分布，简便快捷，操作方便，可靠性高。
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公开(公告)号：CN106646867A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611169770.4
申请日：2016-12-16
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)。本发明采用人工神经网络法进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，通过神经网络训练建立Zernike多项式系数和系统失调量之间的关系实现快速、高精度的共焦对准。
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公开(公告)号：CN106602397A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611235206.8
申请日：2016-12-27
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/10
摘要： 本发明公开了一种激光相干长度的调控装置，用于调控激光器的激光相干长度，所述激光器包括输出耦合镜、增益介质和线宽压窄模块，该调控装置包括标准具、分光片、相干长度检测元件和相干长度反馈控制系统，分光片用于将所述激光器输出的激光分成第一光束和第二光束，相干长度检测元件用于接收从分光片出射的第二光束并实时测量第二光束的相干长度值，相干长度反馈控制系统分别与相干长度检测元件和标准具相连，用于将实时测量的第二光束的相干长度值与相干长度的目标值进行对比，并根据对比结果调节标准具相对激光光轴的角度，使实时测量的第二光束的相干长度值达到相干长度的目标值。
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公开(公告)号：CN106439020A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610862031.7
申请日：2016-09-28
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： F16J15/10
摘要： 本发明公开了一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中，矩形截面待密封系统(7)容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉(6)固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构计矩形密封结构，解决密封装置内部空间利用率低，密封装置外部体积大、重量大、不便于移动及安置等问题，密封效果好，氦气漏率优于5×10‐11Pam3/s。(4)相配合、由压紧螺钉(5)压紧。本发明通过设
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公开(公告)号：CN104375385B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410185411.2
申请日：2014-05-04
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法。该装置主要由准分子激光器、直角棱镜组、匀光聚焦物镜系统、光纤耦合物镜、多模光纤、成像物镜、照明掩模板、准直物镜及夏克-哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经直角棱镜组扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个非相干球面波，这些非相干球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克-哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克-哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息。
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公开(公告)号：CN104101487B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410373440.1
申请日：2014-07-31
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克-哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本发明可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。
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公开(公告)号：CN106286387A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610873686.4
申请日：2016-09-30
申请人： 中国科学院光电研究院
CPC分类号： F04D29/283 , F04D29/30 , F04D29/663 , F04D29/666 , F04D29/667
摘要： 本发明公开一种有效降低噪声的准分子激光器贯流式风机叶轮，所述贯流式风机叶轮包括若干节叶轮单元，所述若干节叶轮单元中的每个叶轮单元包含有若干叶片，所述叶片按照圆周方式分布，叶片两端面固定在两侧中盘上，所述叶片具有非均匀的厚度。本发明通过对叶片的优化，有效提高叶片自身结构强度，同时在叶片上采用降噪措施，实现高转速情况下防止叶片发生形变，提高放电区气流速度、改善放电区流场均匀性。
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