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公开(公告)号：CN119652318A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411700342.4
申请日：2024-11-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及模数转换领域，特别是一种基于动态浮动逆变换前置放大比较器的模数转换器，包含采样保持模块、数模转换阵列模块、放大比较模块和逐次逼近逻辑控制模块。采样保持模块采样并保持输入信号。数模转换阵列模块生成误差信号传输到放大比较模块。放大比较模块采用动态浮动逆变换结构的前置放大器，用于预放大误差信号，最终生成比较结果信号。逐次逼近逻辑控制模块根据比较结果信号生成控制信号，反馈到数模转换阵列模块，直至获得模数转换结果。本发明的采样保持模块实现电流再利用，减少功耗，降低锁存期间的噪声。本发明的放大比较模块采用动态浮动逆变换前置比较器结构，为动态积分阶段提供隔离电压域，提高了比较器的精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN112305752A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011250242.8
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构制作方法、微镜阵列和探测器。
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公开(公告)号：CN111223956A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911093515.X
申请日：2019-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/107 , H01L31/0224
Abstract: 本发明公开了一种级联雪崩倍增光电二极管，在衬底上有衬底氧化层，在衬底氧化层上从左到右依次有p型电极层I、p型光吸收层、电场调控层I、雪崩倍增层I、n型过渡层、低杂质浓度的电子行进层、电场调控层II、雪崩倍增层II、n型电极层，p型电极层II内嵌于低杂质浓度的电子行进层区域内，衬底氧化层上依次排列的各层被电场隔离环层环绕包围，电场隔离环层外侧区域有本征层，p型电极层I上有p电极I，p型电极层II上有p电极II，n型电极层上有n电极的构造。本专利的优点在于：本发明构造避免曲率效应，消除边缘击穿，提高稳定性，同时实现多级级联雪崩倍增单片集成，获得很高的稳定增益，且有效抑制空穴雪崩引起的噪声。
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公开(公告)号：CN102530843B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210019354.1
申请日：2012-01-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法。聚酰亚胺薄膜由光敏型聚酰亚胺树脂旋涂在基底表面，经亚胺化后获得；亚胺化使聚酰亚胺薄膜与基底形成良好粘附；采用光刻、显影工艺使聚酰亚胺在像元表面成型；疏松化通过腐蚀并去除混合在聚酰亚胺树脂中的铝粉末颗粒实现；采用氧等离子体刻蚀方法可控制聚酰亚胺的厚度，减轻热质量，同时保证铝粉末颗粒表面部分或完全露出，使铝粉末颗粒能完全去除。采用该方法制备的疏松化聚酰亚胺薄膜克服了黑金吸收薄膜机械强度差、不易图形化，热质量较高的缺点，相对于薄金属吸收薄膜也提高了红外吸收率，对非制冷探测器性能提高具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN112305753B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202011251559.3
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种微镜结构，包括：六边形光反射膜，悬设于衬底上；六段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的一条对应边的外侧上；六个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应边向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构制作方法、微镜阵列和探测器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112305752B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202011250242.8
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段形变梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段形变梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段形变梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段形变梁中通电，使形变梁因通电发热而产生相对于其长度方向的向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段形变梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构制作方法、微镜阵列和探测器。
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公开(公告)号：CN116953917A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310694434.5
申请日：2023-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种高填充因子的MEMS微镜及制造方法，微镜包括设于衬底上的微桥结构，微桥结构包括支撑及电连接柱和微桥桥面；微桥桥面上设有微镜镜面，微镜镜面通过支撑及电连接柱电连接衬底；支撑及电连接柱形成于第一沟槽中，第一沟槽设于第一牺牲层中，第一牺牲层位于衬底与微桥桥面之间，支撑及电连接柱包括形成于第一沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于导电体内侧的支撑体，微镜镜面通过导电体电连接衬底，微桥桥面支撑于支撑体和导电体上；微桥结构通过去除第一牺牲层得以释放。本发明能够减小所形成的支撑及电连接柱在微镜中的占用面积，由此使得微镜镜面的面积得到有效的增加，从而能大幅度提升填充因子和产品的性能。
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公开(公告)号：CN116679443A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310694444.9
申请日：2023-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压，并可降低器件的工作电压。
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公开(公告)号：CN112327474A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011250241.3
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种微镜结构，包括：光反射膜，悬设于衬底上；多段导电梁，首尾依次相邻或相接地围绕在光反射膜的外侧以外或下方位置，每段导电梁分别通过一个支点结构绝缘地连接至光反射膜的外侧上；多个支撑柱，分别支撑于每两段导电梁的相邻或相接端点位置的下方；通过向至少一段导电梁中通电，使导电梁中的下导电梁和上导电梁因静电相吸或排斥而使导电梁整体产生向上或向下方向的弯曲变形，带动与之连接的光反射膜的对应侧向上或向下位移，并通过对各段导电梁执行分别控制所形成的变形大小不同组合，实现使光反射膜朝向任意预定方向的偏转或/和上下浮动。本发明还公开了一种微镜结构形成方法、微镜阵列和探测器。
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公开(公告)号：CN111223956B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN201911093515.X
申请日：2019-11-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H10F30/225 , H10F77/20
Abstract: 本发明公开了一种级联雪崩倍增光电二极管，在衬底上有衬底氧化层，在衬底氧化层上从左到右依次有p型电极层I、p型光吸收层、电场调控层I、雪崩倍增层I、n型过渡层、低杂质浓度的电子行进层、电场调控层II、雪崩倍增层II、n型电极层，p型电极层II内嵌于低杂质浓度的电子行进层区域内，衬底氧化层上依次排列的各层被电场隔离环层环绕包围，电场隔离环层外侧区域有本征层，p型电极层I上有p电极I，p型电极层II上有p电极II，n型电极层上有n电极的构造。本专利的优点在于：本发明构造避免曲率效应，消除边缘击穿，提高稳定性，同时实现多级级联雪崩倍增单片集成，获得很高的稳定增益，且有效抑制空穴雪崩引起的噪声。
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