公开(公告)号：CN117538982A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311426491.1

申请日：2023-10-31

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武爱民 ,  龚乾红

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/125 ,  G02B6/136 ,  G02B6/13

Abstract: 本发明涉及一种异质集成光学芯片，所述芯片分为上下两层光子集成回路，通过倏逝波耦合的方法实现光在两层光子集成回路中传输耦合，光通过由三层波导组成的倏逝波耦合器保证光可以从第一层波导耦合到第三层波导再耦合到第二层波导；其中第一层波导构成第一层光子集成回路，第二层和第三层波导构成第二层光子集成回路。本发明通过结合不同介质层波导的优势，可并实现收发一体光集成芯片并提高光芯片性能，满足下一代产品的需求。

公开(公告)号：CN118243078A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410213693.6

申请日：2024-02-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武爱民 ,  龚乾红

IPC: G01C19/64

Abstract: 本发明涉及一种面向光传感的异质集成光学陀螺仪芯片，包括异质集成的第一光子芯片和第二光子芯片；所述第一光子芯片包括依次连接的耦合光口、第一光波导、第二光波导、合束器、分束器和光电探测器；所述第二光子芯片包括依次连接的第三光波导和铌酸锂相位调制器；所述第一光波导和第二光波导形成第一倏逝波耦合器；所述第二光波导和第三光波导形成第二倏逝波耦合器。本发明通过设置上下层芯片并通过键合去除衬底得到具有多功能结构的异质集成收发一体光学陀螺仪芯片，可以兼顾低传输损耗和小型化，具有广阔的应用场景。