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公开(公告)号:CN107305593B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201610252163.8
申请日:2016-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06F30/20
Abstract: 本发明提供一种SOI MOSFET总剂量辐照模型的建模方法,包括:建立一受控电流源,所述受控电流源并联于一MOSFET器件的源、漏端之间,其电流大小受所述MOSFET器件的栅端、源端、体端、漏端及总剂量控制;建立一受控电压源,所述受控电压源串联于所述MOSFET器件的栅端,其电压大小受总剂量控制;将所述受控电流源、所述受控电压源及所述MOSFET器件进行封装,以形成所述SOI MOSFET总剂量辐照模型。本发明的SOI MOSFET总剂量辐照模型的建模方法可同时仿真NMOS和PMOS,可以仿真阈值电压的漂移,还可仿真各个尺寸、各个辐射剂量的MOSFET特性,大大提高仿真准确性。
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公开(公告)号:CN105742366B
公开(公告)日:2019-09-13
申请号:CN201610237320.8
申请日:2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供一种N型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法,包括衬底结构,NMOS器件及PN结器件;PN结器件的P区与NMOS器件的体区连接,PN结器件的N区与NMOS器件的栅连接。在P型本征区中进行N型重掺杂分别形成NMOS器件的源、漏区和体区,同时形成PN结器件;在沟道区上方依次形成栅氧化层、多晶硅层,对多晶硅层进行N型重掺杂形成栅;通过通孔和金属将NMOS器件的栅和PN结器件的N区相连。本发明通过在栅体连接通路上形成一个反偏PN结,来提升体区电压、降低阈值电压、提高驱动电流,实现工作电压的提高,扩展了N型动态阈值晶体管在低功耗电路设计领域的应用价值。
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公开(公告)号:CN104750922B
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201510136732.8
申请日:2015-03-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明提供一种SOI四端口网络及其系统,包括:第一端口、第二端口、第三端口以及第四端口,所述SOI器件进行射频建模时,栅极与所述第一端口连接,漏极与所述第二端口连接,源极与所述第三端口连接,体极与所述第四端口连接。通过SOI四端口网络,可以采用共源、共栅以及共漏电路中任意一种结构进行建模,各个端口根据需要进行电压设置。传统的两端口网络体电极只能接地,本发明的四端口网络体电极可以通过设置,获得不同体电压下的射频特性及噪声特性,使建模过程更加灵活。
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公开(公告)号:CN104409503B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201410674653.8
申请日:2014-11-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/423
Abstract: 本发明提出了一种多叉指栅极结构MOSFET的版图设计,包括半导体衬底、第一多叉指栅极结构、第二多叉指栅极结构、体接触区、源区及漏区,体接触区为第一多叉指栅极结构及第二多叉指栅极结构共用。通过采用体接触区公用的方法,可以提高体接触区利用率,降低寄生电容。相比较普通的体接触器件,其有源区的利用率高,在相同总的栅宽条件下,体接触区域面积减小了一半,可以集成度提高。因为中间体区为两侧有源区公用,金属连线所占面积降低,可以降低寄生电容。在不增加布线难度的情况下实现两侧栅极的并联,减小了栅极电阻。在不增加布线难度的情况下实现两侧漏极的并联,减小了漏极电阻。器件版图结构该设计方法在射频电路领域具有一定的应用价值。
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公开(公告)号:CN105895702A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610236469.4
申请日:2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供一种N型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法,包括衬底结构,NMOS器件及PN结器件;PN结器件的P区与NMOS器件的体接触区连接,PN结器件的N区与NMOS器件的栅连接。在P型本征区中进行N型重掺杂分别形成NMOS器件的源、漏区和PN结器件,再进行P型重掺杂形成NMOS器件的体接触区;在沟道区上方依次形成栅氧化层、多晶硅层,对多晶硅层进行N型重掺杂形成栅;通过通孔和金属将NMOS器件的栅和PN结器件的N区相连。本发明通过在栅体连接通路上形成一个反偏PN结,来提升体接触区电压、降低阈值电压、提高驱动电流,实现工作电压的提高,扩展了N型动态阈值晶体管在低功耗电路设计领域的应用价值。
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公开(公告)号:CN105870186B
公开(公告)日:2019-09-13
申请号:CN201610237267.1
申请日:2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供一种P型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法,所述P型动态阈值晶体管至少包括:衬底结构,PMOS器件及PN结器件;PN结器件的N区与PMOS器件的体区连接,PN结器件的P区与PMOS器件的栅连接。在N型本征区中进行P型重掺杂分别形成PMOS器件的源、漏区和体区,同时形成PN结器件;在沟道区上方依次形成栅氧化层、多晶硅层,对多晶硅层进行P型重掺杂形成栅;通过通孔和金属将PMOS器件的栅和PN结器件的P区相连。本发明通过在栅体连接通路上形成一个反偏PN结,来提升体区电压、降低阈值电压、提高驱动电流,实现工作电压的提高,扩展了P型动态阈值晶体管在低功耗电路设计领域的应用价值。
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公开(公告)号:CN106991201A
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201610038229.3
申请日:2016-01-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明提供一种SOI MOSFET总剂量模型参数确定方法,包括如下步骤:S1:获取SOI MOSFET在不同剂量辐照下开、关两种工作状态下的转移特性数据与传输特性数据;S2:筛选步骤S1得到的数据,并导入测试数据到参数提取软件;S3:提取上边角等效晶体管参数及场氧侧壁等效晶体管参数;S4:导出总剂量集约模型卡文件;S5:导入各个单点的总剂量模型到所述参数提取软件,生成全区域的总剂量Bin模型卡文件。本发明采用了与主晶体管分立的方式进行参数提取,细化了物理模型中各个区域的敏感参数,提高了参数拟合的准确度,可以准确地拟合出SOI MOSFET受总剂量辐射效应影响时在亚阈值区产生的hump效应,模型以Bin模型卡的形式存在,可以仿真全区域尺寸器件总剂量效应。
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公开(公告)号:CN106952953A
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201610008646.3
申请日:2016-01-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L21/336 , H01L29/08
CPC classification number: H01L29/78 , H01L29/0847 , H01L29/66477
Abstract: 本发明提供一种抗总剂量效应的SOI MOS器件及其制作方法,所述SOI MOS器件的源区采用加固源区,其结构由中上部分的重掺杂第一导电类型区、从纵向两端及底部包围所述重掺杂第一导电类型区的重掺杂第二导电类型区以及浅第一导电类型区组成,这种加固源区在不增加器件的面积的情况下可有效抑制SOI器件的总剂量效应导致的Box漏电、上下边角漏电及侧壁漏电。并且本发明在有效抑制总剂量效应的同时,还可以抑制浮体效应。本发明消除了传统抗总剂量加固结构增加芯片面积以及无法全面抑制总剂量效应的缺点,且本发明的抗总剂量效应的SOI MOS器件的制作方法还具有制造工艺简单、与常规CMOS工艺相兼容等优点。
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公开(公告)号:CN105895703A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610237275.6
申请日:2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供一种N型动态阈值晶体管、制备方法及提高工作电压的方法,该N型动态阈值晶体管至少包括:衬底结构,位于所述衬底结构上的n个阈值可调结构;所述阈值可调结构至少包含两个NMOS管和两个二极管,两个NMOS管共用体区,所述体区为N型重掺杂区;两个二极管共用N区,并以两个NMOS管共用的体区作为N区;所述第一二极管的N区与所述第一NMOS管的栅连接,所述第二二极管的N区与所述第二NMOS管的栅连接。本发明通过在两个NMOS管的栅体连接通路上各形成一个反偏PN结,来提升体区电压、降低阈值电压、提高驱动电流,实现工作电压的提高,扩展了N型动态阈值晶体管在低功耗电路设计领域的应用价值。
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公开(公告)号:CN105845398A
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201610168527.4
申请日:2016-03-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01F27/36
CPC classification number: H01F27/36
Abstract: 本发明提供一种电感屏蔽环包括:平面螺旋电感及屏蔽环;所述平面螺旋电感位于所述屏蔽环中心位置,所述屏蔽环为不连续的金属块组成的环状,所述金属块通过通孔与扩散区连接。本发明提供了一种电感屏蔽环,用于解决现有技术中平面螺旋电感屏蔽环版图占用面积大,电感品质因数低的问题。
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