公开(公告)号：CN1365003A

公开(公告)日：2002-08-21

申请号：CN02110584.7

申请日：2002-01-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 赵建龙 ,  金庆辉 ,  陈继锋 ,  徐元森

IPC: G01N27/447

Abstract: 一种电泳微芯片的制作方法,其特征在于该方法包括下列步骤:(1)电泳微芯片的设计:根据电泳微芯片的功能要求,结合相应的工艺条件,考虑以下几个参数:进样泳道和分离泳道的宽度、长度、管道的形状(包括弯道、弧度、不规格形状等)和管道间的距离等进行芯片图形设计,将设计好的图形制作成掩模版;(2)电泳微芯片的制作步骤是:选择优质石英作为芯片的基片,利用光刻湿法腐蚀方法在基片上形成凹槽等,然后利用键合技术形成微管道网络,构成电泳微芯片。其优点是:湿法腐蚀过程采用铬和光刻胶双层保护,保护可靠,键合过程采用预键合和烧结过程相结合的方法,免除了复杂的升温降温程序,工艺过程更简化,工艺条件较易满足,方法具有通用性,适用范围广。

公开(公告)号：CN2552000Y

公开(公告)日：2003-05-21

申请号：CN02215218.0

申请日：2002-01-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 徐元森 ,  陈继锋 ,  金庆辉 ,  赵建龙 ,  程兆谷

IPC: G01N27/447

Abstract: 本DNA微通道电泳芯片检测仪，由运动机构、芯片台的控制、光路对焦、图象监测、步进电机控制、用户工作界面等组成。其中，四色微通道电泳根据共聚焦荧光检测原理设计，电泳微芯片采用微电子机械工艺加工，并应用高灵敏度激光诱导荧光检测方法，由计算机控制操纵芯片台、非球面物镜对焦，对芯片检测和分析。本检测仪控制软件功能强大、界面友好、操作简便，是一种高效自动化检测和分析DNA微芯片的检测仪。