公开(公告)号：CN1278923C

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200410066491.6

申请日：2004-09-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  韩建强 ,  鲍敏杭 ,  杨恒 ,  沈绍群 ,  王跃林

IPC: B81C1/00 ,  B81C5/00 ,  G12B21/08

Abstract: 本发明提供了一种利用掩膜-无掩膜腐蚀技术实现AFM悬臂梁和探针一次成型的制作方法。其特征在于在腐蚀过程中，探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀，而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀，当探针针尖的直径达到预定值时，梁的厚度达到设定值。本发明所涉及的各向异性湿法腐蚀工艺一次成型AFM探针和悬臂梁的制作方法具有以下优点:(1)制作工艺简单：仅采用了常规的光刻工艺和湿法各向异性腐蚀工艺，对工艺设备要求较低、简便易行，降低了产品成本，提高了成品率；(2)采用SOI硅片的顶层硅的下表面作为光反射面，与重掺杂自停止腐蚀形成的表面相比更平整，光反射率高；(3)以二氧化硅埋层为腐蚀自停止层，与重掺杂自停止方法相比，对梁厚度的控制更为精确。

公开(公告)号：CN1587024A

公开(公告)日：2005-03-02

申请号：CN200410066491.6

申请日：2004-09-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  韩建强 ,  鲍敏杭 ,  杨恒 ,  沈绍群 ,  王跃林

IPC: B81C1/00 ,  B81C5/00 ,  G12B21/08

Abstract: 本发明提供了一种利用掩膜－无掩膜腐蚀技术实现AFM悬臂梁和探针一次成型的制作方法。其特征在于在腐蚀过程中，探针采用有掩膜腐蚀技术腐蚀，而梁采用无掩膜腐蚀技术腐蚀，当探针针尖的直径达到预定值时，梁的厚度达到设定值。本发明所涉及的各向异性湿法腐蚀工艺一次成型AFM探针和悬臂梁的制作方法具有以下优点。(1)制作工艺简单：仅采用了常规的光刻工艺和湿法各向异性腐蚀工艺，对工艺设备要求较低、简便易行，降低了产品成本，提高了成品率；(2)采用SOI硅片的顶层硅的下表面作为光反射面，与重掺杂自停止腐蚀形成的表面相比更平整，光反射率高；(3)以二氧化硅埋层为腐蚀自停止层，与重掺杂自停止方法相比，对梁厚度的控制更为精确。