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公开(公告)号:CN116184693A
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN202310114688.5
申请日:2023-02-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于布拉格光栅的非易失性可重构滤波器。该滤波器包括SOI衬底、波导以及移相布拉格光栅结构、第一非易失性相变材料薄膜和第二非易失性相变材料薄膜,所述SOI衬底上方设置波导,所述波导含有移相布拉格光栅结构,所述移相布拉格光栅结构上方的移相区域设置第一非易失性相变材料薄膜,所述移相布拉格光栅结构上方的均匀光栅区域设置第二非易失性相变材料薄膜,所述第一非易失性相变材料薄膜设置在所述第二非易失性相变材料薄膜之间。该滤波器在保证传输损耗仅0.76dB的前提下同时实现传输功率不变中心波长偏移和传输中心波长不变功率调谐的功能。
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公开(公告)号:CN112415784A
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202011414339.8
申请日:2020-12-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种非易失性光开关及其制作方法,所述非易失性光开关包括:绝缘埋层;单模波导,位于所述绝缘埋层之上;相变材料微盘,位于所述单模波导之上;以及上包层,覆盖所述相变材料微盘和所述单模波导。相对于现有的硅基光开关,本发明的非易失性光开关具有更小的器件尺寸、消光比大且插入损耗低。
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