公开(公告)号：CN106996942B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201710277779.5

申请日：2017-04-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 刘吉山 ,  沈大伟 ,  刘万领 ,  向兀 ,  樊聪聪 ,  刘正太 ,  张凯丽

IPC: G01N23/227

Abstract: 本发明提供一种光路切换系统，所述光路切换系统至少包括：真空管路；设置在真空管路一端的样品系统腔，用于放置待测样品；设置在所述真空管路上至少两个光源光路腔，用于分别引入不同的光源，其中，每个光源光路腔配备有离子泵和真空阀门；设置在所述真空管路上且位于所述样品系统腔和所述光源光路腔之间的真空调节腔。本发明的光路切换系统可以解决角分辨光电子能谱仪集成不同激励光源后各光源之间的相互切换问题，实现在测试过程中各种光源能够相互自由切换的实际需求。

公开(公告)号：CN106996942A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201710277779.5

申请日：2017-04-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 刘吉山 ,  沈大伟 ,  刘万领 ,  向兀 ,  樊聪聪 ,  刘正太 ,  张凯丽

IPC: G01N23/227

CPC classification number: G01N23/2273

Abstract: 本发明提供一种光路切换系统，所述光路切换系统至少包括：真空管路；设置在真空管路一端的样品系统腔，用于放置待测样品；设置在所述真空管路上至少两个光源光路腔，用于分别引入不同的光源，其中，每个光源光路腔配备有离子泵和真空阀门；设置在所述真空管路上且位于所述样品系统腔和所述光源光路腔之间的真空调节腔。本发明的光路切换系统可以解决角分辨光电子能谱仪集成不同激励光源后各光源之间的相互切换问题，实现在测试过程中各种光源能够相互自由切换的实际需求。