公开(公告)号：CN115308269B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202210937290.7

申请日：2022-08-05

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 宋健 ,  李铁 ,  崔浩然 ,  王跃林

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种气体传感器的制备方法，包括提供衬底；在衬底上制备至少一个由石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层组成的组合缓冲层；在最顶端的有机柔性绝缘材料缓冲层上制备敏感材料层，敏感材料层为石墨烯传感层；在敏感材料层上形成源极和漏极；进行后处理，在石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层的接触面处引入含氧官能团增加层间的互斥作用，优化敏感材料层的氧化程度。根据本发明的气体传感器及其应用，其用于检测苯类气体。根据本发明的气体传感器，将有机柔性绝缘材料缓冲层放置于两个石墨烯层中间抵消外界作用力，通过简单堆叠石墨烯层的方式增加石墨烯层与层之间的滑动作用，增强石墨烯气体传感器的耐弯折性能。

公开(公告)号：CN115308269A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210937290.7

申请日：2022-08-05

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 宋健 ,  李铁 ,  崔浩然 ,  王跃林

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明涉及一种气体传感器的制备方法，包括提供衬底；在衬底上制备至少一个由石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层组成的组合缓冲层；在最顶端的有机柔性绝缘材料缓冲层上制备敏感材料层，敏感材料层为石墨烯传感层；在敏感材料层上形成源极和漏极；进行后处理，在石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层的接触面处引入含氧官能团增加层间的互斥作用，优化敏感材料层的氧化程度。根据本发明的气体传感器及其应用，其用于检测苯类气体。根据本发明的气体传感器，将有机柔性绝缘材料缓冲层放置于两个石墨烯层中间抵消外界作用力，通过简单堆叠石墨烯层的方式增加石墨烯层与层之间的滑动作用，增强石墨烯气体传感器的耐弯折性能。