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公开(公告)号：CN116232275A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310229607.6
申请日：2023-03-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器结构，结构包括衬底、第一电极、压电薄膜层叠结构和第二电极；衬底与第一电极之间设置有声学镜；压电薄膜层叠结构位于第一电极和第二电极之间；压电薄膜层叠结构由多个第一压电薄膜和第二压电薄膜交替层叠构成，第一压电薄膜与第二压电薄膜的极性相反。本发明通过设置多层极性相反的压电薄膜，在不需要减薄压电薄膜厚度的条件下提高了体声波滤波器的谐振频率；同时利用压电薄膜层叠结构实现极性反转，降低对压电材料厚度的依赖，不需要额外生长电极，减小声波损耗，提高品质因子；另外，配合单晶材料作为压电薄膜材料，进一步提升了压电薄膜的晶体质量，提升了器件的滤波性能。
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公开(公告)号：CN116248069A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310229636.2
申请日：2023-03-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提出一种体声波谐振器及其制备方法，体声波谐振器包括第一电极、第二电极，以及夹在第一电极及第二电极之间的压电薄膜，其中压电薄膜由n层相邻两层极性相反的极性压电薄膜构成，第一电极与第二衬底被腔体结构隔开，腔体结构被嵌入第二衬底上，第二电极上方也由空气包围；本发明的体声波谐振器的制备方法利用分层制备极性相反的极性压电薄膜，在不降低压电薄膜总厚度或引入过渡电极的条件下提高谐振器谐振频率，简化工艺，降低对工艺及设备要求的同时提高滤波器工作频率，为高频体声波谐振器提供了一种新的制备方法。
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