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公开(公告)号：CN117368531A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202210770383.5
申请日：2022-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明提供一种近场光学显微镜系统及成像方法至少包括：微反射镜阵列、光路模块及显微镜模块，其中：微反射镜阵列、光路模块均与显微镜模块连接；微反射镜阵列接收所述光路模块产生的激光信号，通过调节微反射镜阵列中每一个微反射镜的方向，调整激光信号在所述光路模块上产生的波前信息；调节每一个反射镜的旋转角度，将激光信号反射至所述显微镜模块，使所述显微镜模块产生满足对比度和分辨率要求的探测信号，对样品的近场光学信息进行探测。利用微反射镜阵列辅助探测样品的近场光学信息，能够有效地抑制背景噪声，增强反射光的强度，极大提高成像的分辨率和对比度；结构简单，操作便捷，具有广泛的适用性。
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