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发明公开
一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器审中-实审

公开(公告)号：CN117740178A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311769885.7

申请日：2023-12-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 , 叶智玮 , 周宏 , 刘延祥 , 陆仲明

IPC: G01K7/02 , G01K1/024

Abstract: 本发明涉及一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器，所述传感器由下至上依次包括：SiCOI晶圆(10)、下绝缘层(20)、下金属层(30)、上绝缘层(40)和上金属层(50)。本发明利用无线传输特性提高了测量的精确度，避开信号读取困难的同时，降低了制作成本，保留了SiC材料耐高温的特性，可实现超高温恶劣环境中热流密度的快速、准确测量。

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