公开(公告)号：CN102338767A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201110137353.2

申请日：2011-05-25

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 赵建龙 ,  金妍 ,  刘德盟 ,  陈淼 ,  金庆辉

IPC: G01N27/413 ,  G01N27/22

Abstract: 本发明涉及一种H+敏感的Ta2O5材料EIS结构、制备和pH在线检测方法，其特征在于所述的EIS结构自上而下由H+敏感材料层、绝缘体层、半导体层和导电Al层四层组成；其中H+敏感材料层为Ta2O5，绝缘体层为SiO2，半导体层为双面抛光P-Si，导电层为金属Al。所述EIS结构式用MEMS工艺制作，使用EIS结构进行pH在线检测方法是以插入敏感层中的商用Ag/AgCl电极作为参比电极，EIS结构另一面的Al层作为工作电极，基于阻抗谱和测试不同pH下相同扫描条件下的电容-电压曲线，找到合适的电容值，从而得到pH-V的对应关系，直接检测电压值即可进侧出pH值。利用本发明提供的EIS结构，制作的pH传感器体积小，便于携带，并可长时间进行pH在线检测。

公开(公告)号：CN102323314A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110148268.6

申请日：2011-05-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 金庆辉 ,  刘德盟 ,  金妍 ,  赵建龙

IPC: G01N27/30 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种用于重金属检测的镀铋金微阵列电极的制作和检测方法，其特征在于金微阵列电极的制作机器镀铋工艺，镀铋工艺采用0.015mol/LBi(NO3)3·5H2O+1mol/L KNO3+1％HNO3电镀重金属时加入磁力搅拌提高电镀效率。用于重金属检测是以上述微阵列电极作为溶出伏安法的工作电极构架成重金属检测的传感器，配置液，设定伏安法参数值，完成中对铅、镉或镍的重金属检测，灵敏度可达国家饮用水标准。

公开(公告)号：CN102323314B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201110148268.6

申请日：2011-05-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 金庆辉 ,  刘德盟 ,  金妍 ,  赵建龙

IPC: G01N27/30 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种用于重金属检测的镀铋金微阵列电极的制作和检测方法，其特征在于金微阵列电极的制作机器镀铋工艺，镀铋工艺采用0.015mol/LBi(NO3)3·5H2O+1mol/L KNO3+1％HNO3电镀重金属时加入磁力搅拌提高电镀效率。用于重金属检测是以上述微阵列电极作为溶出伏安法的工作电极构架成重金属检测的传感器，配置液，设定伏安法参数值，完成中对铅、镉或镍的重金属检测，灵敏度可达国家饮用水标准。