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公开(公告)号：CN108963073A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810680836.9
申请日：2018-06-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L45/00
CPC classification number: H01L45/08 , H01L45/147 , H01L45/16
Abstract: 本发明提供一种Ge‑Se‑O双向阈值开关材料、选通器单元及制备方法，所述Ge‑Se‑O双向阈值开关材料的化学通式为GexSeyO100‑x‑y，其中x、y均指元素的原子百分比，且满足30
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