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公开(公告)号：CN1279186C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410054083.9
申请日：2004-08-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/68
Abstract: 本发明涉及一种生物微喷阵列点样装置及制作方法，其特征在于点阵装置的主体结构依次由四层组成，最上面一层是用于封装的聚二甲基硅氧烷薄膜，第二层是用于固定和支撑的硬性物质，第三层是微型EAP驱动器，第四层是含微进样池、微管道、微贮液池和微喷嘴阵列的微结构层；第三层和第四层是用紫外胶封装，第二层、第三层和第四层用AB胶封装。其制作方法是利用MEMS技术和封装技术，它不同与微印章法。利用电致伸缩聚合物代替压电聚合物，本发明具有制作的点样装置体积小，制作简单，工艺流程短而装置设计灵活、多变等特点。
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公开(公告)号：CN100562749C
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200510027903.X
申请日：2005-07-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备装置，所述的装置是由硅基微喷头阵列芯片、PDMS弹性薄膜和弹性环、SU-8基的挤压头阵列、钕铁硼磁致驱动器和样品载波片构成的；其中PDMS弹性薄膜与硅基微喷头阵列芯片采用紫外胶实现粘结和微通道密封，SU-8基的挤压头阵列与微喷口对准并将整个钕铁硼磁致驱动器通过PDMS弹性环固定在PDMS薄膜表面，载波片承载微喷口挤出的微液滴点阵列。利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基片上制作含有进样池、微通道、微贮液池和微喷口等微结构，根据磁致驱动原理制作驱动器，并用于驱动PDMS弹性薄膜，采用PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而制成。具有操作简单，易于普及特点。
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公开(公告)号：CN1719257A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510027903.X
申请日：2005-07-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备装置，所述的装置是由硅基微喷头阵列芯片、PDMS弹性薄膜和弹性环、SU－8基的挤压头阵列、钕铁硼磁致驱动器和样品载波片构成的；其中PDMS弹性薄膜与硅基微喷头阵列芯片采用紫外胶实现粘结和微通道密封，SU－8基的挤压头阵列与微喷口对准并将整个钕铁硼磁致驱动器通过PDMS弹性环固定在PDMS薄膜表面，载波片承载微喷口挤出的微液滴点阵列。利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基片上制作含有进样池、微通道、微贮液池和微喷口等微结构，根据磁致驱动原理制作驱动器，并用于驱动PDMS弹性薄膜，采用PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而制成。具有操作简单，易于普及特点。
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公开(公告)号：CN1629319A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410054083.9
申请日：2004-08-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/68
Abstract: 本发明涉及一种生物微喷阵列点样装置及制作方法，其特征在于点阵装置的主体结构依次由四层组成，最上面一层是用于封装的聚二甲基硅氧烷薄膜，第二层是用于固定和支撑的硬性物质，第三层是微型EAP驱动器，第四层是含微进样池、微管道、微贮液池和微喷嘴阵列的微结构层；第三层和第四层是用紫外胶封装，第二层、第三层和第四层用AB胶封装。其制作方法是利用MEMS技术和封装技术，它不同与微印章法。利用电致伸缩聚合物代替压电聚合物，本发明具有制作的点样装置体积小，制作简单，工艺流程短而装置设计灵活、多变等特点。
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