公开(公告)号：CN104458780B

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201410748771.9

申请日：2014-12-09

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 朱大明 ,  李晓龙 ,  刘春泽 ,  顾月良 ,  阴广志 ,  高兴宇 ,  黎忠

IPC: G01N23/20 ,  G01N23/201

Abstract: 本发明提供一种原位测试样品平台，包括：样品台；样品台底座，其安装在所述样品台的下表面；用于承载样品的陶瓷加热片，其内部设有电热丝和热电偶；加热片支撑架，其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方；温度控制系统，其连接至所述电热丝和所述热电偶，以实时控制所述陶瓷加热片的温度；以及循环水冷系统，其固定连接至所述样品台的下表面，以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试，并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响，能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下，使样品台温度不至于太高，并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。

公开(公告)号：CN104502367A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410748503.7

申请日：2014-12-09

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 朱大明 ,  李晓龙 ,  刘春泽 ,  顾月良 ,  阴广志 ,  高兴宇 ,  黎忠

IPC: G01N23/00

Abstract: 本发明提供一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台，包括：高温热台反应腔体，其包括热台底座以及真空外罩，该真空外罩包括框架主体以及紧密安装在该框架主体上的入射窗片和出射窗片；陶瓷加热台，安装在热台底座上以承载一样品；温度控制系统，用以实时调节陶瓷加热台的温度；真空系统，用以对高温热台反应腔体内抽真空；反应气体混气系统，用以为高温热台反应腔体内提供热化学气相沉积所需的气源；以及真空测量系统，用以实时监测高温热台反应腔体内的气体压强。本发明可以透过x射线，又可在线调节温度、气压、气流等反应条件，从而能够以在线的方式对热化学气相沉积过程中材料的生长、物相变化等过程进行实时原位的表征与研究。

公开(公告)号：CN104458780A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410748771.9

申请日：2014-12-09

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 朱大明 ,  李晓龙 ,  刘春泽 ,  顾月良 ,  阴广志 ,  高兴宇 ,  黎忠

IPC: G01N23/20 ,  G01N23/201

Abstract: 本发明提供一种原位测试样品平台，包括：样品台；样品台底座，其安装在所述样品台的下表面；用于承载样品的陶瓷加热片，其内部设有电热丝和热电偶；加热片支撑架，其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方；温度控制系统，其连接至所述电热丝和所述热电偶，以实时控制所述陶瓷加热片的温度；以及循环水冷系统，其固定连接至所述样品台的下表面，以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试，并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响，能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下，使样品台温度不至于太高，并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。

公开(公告)号：CN206074486U

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201621060031.7

申请日：2016-09-18

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 王瑞 ,  刘春泽 ,  朱大明 ,  顾月良 ,  阴广志 ,  李晓龙

IPC: G01N23/20 ,  G05D27/02

Abstract: 本实用新型提供一种薄膜X射线衍射原位测试装置，包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构，所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖，所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔；还包括：一湿度控制机构，所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。本实用新型的一种薄膜X射线衍射原位测试装置可对反应腔体进行高低温控制、湿度控制并可实现原位的电学测试功能，具有调节自由度大、调节精度高、操作便捷、安全度高和成本低的优点。