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公开(公告)号:CN119470362A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202411410733.2
申请日:2024-10-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种共轴简并与非简并式超快载流子动力学的材料测量系统和方法,该系统兼容共轴简并与非简并式泵浦探测光路;实现对材料在单一波长处的共振过程和不同能级相互作用过程的观察,提高检测灵敏度和选择性。该系统采用显微物镜成像并利用三维高精密电动位移台调节待测样品位置,可以实现对微米级尺寸样品表面形貌以及光斑的实时监测;该系统采用光电探测器同步测试样品透射、反射信号,解决难以完整、准确测量微区不同种类、不同厚度材料超快载流子动力学过程的问题。优化超快载流子动力学过程测量技术及并扩大其适用范围。本发明实现了自动化控制,具有快捷、灵敏、高集成度的技术特点。
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公开(公告)号:CN117629932A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311512165.2
申请日:2023-11-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种利用波长转换功能实现的气体探测芯片,包括:输入光源、泵浦光源、波长转换器、波导放大器、耦合器和平衡探测器;其中,波长转换器包括输入端波长转换器和输出端波长转换器,波导放大器分为输入端波导放大器和输出端波导放大器。本发明在输入端通过输入端波长转换器,将输入信号光选择性的转换成待测气体所需波长,经输入端波导放大器放大后输出到待测气体中;本发明在接收端通过接收端波长转换器,将接收到的信号转换回输入信号波段,经接收端波导放大器放大后输出到商用平衡探测器中。本发明基于四波混频原理,通过波长转换的方式调整波长,利用商用器件实现了多种待测气体在同一款芯片上的同时测量。
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公开(公告)号:CN116256065A
公开(公告)日:2023-06-13
申请号:CN202211102697.4
申请日:2022-09-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光照射下材料空间温度场分布的测量系统及测量方法,其中,测量方法是将红外技术和激光技术结合,利用红外热像仪实现全空间样品温度的测试;材料受激光照射升温,达到损伤阈值时表面发生不可逆转的热破坏,发射率发生改变,所测表面温度随之变化。本发明采用红外热像仪与计算机软件结合可以实现材料空间温度场分布的实时监测;利用非接触式测温方式,提供检测样品是否损伤的方法;实现了自动化控制,具有集成度高、测量快速、灵敏度高的特点。
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公开(公告)号:CN115128002A
公开(公告)日:2022-09-30
申请号:CN202210698151.3
申请日:2022-06-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提供了一种测量材料非线性光学性质的系统及方法,其中,测量方法是将Z扫描技术和共焦显微成像集成在一起,采用显微物镜进行激发光聚焦、信号光收集、样品表面形貌成像以及光斑同步成像,实现光斑大小的实时监测;使用三维精密平移台控制样品位置,可以实现对微米级样品非线性光学性质的测量。本发明方法可以同步测量材料非线性吸收和非线性折射数据,同时适用于均匀和非均匀、宏观和微观样品的测量,解决了非均匀不规则小尺寸样品非线性性质测试难题,扩展了Z扫描技术的应用及测试范围。
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公开(公告)号:CN105067528A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201510428561.6
申请日:2015-07-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明是将非线性强度扫描和共焦显微成像集成在一起的,用于测量样品的非线性光学性质,并能测绘样品微区非线性光学系数的二维空间分布的光学测量系统。本发明可以用于样品的二维微区的非线性光学性质的测绘,尤其适用于不均匀样品微区或者微观样品的非线性性质的测量。本系统可以同时测量样品的非线性吸收和非线性折射性质,采用自动化测量,具有快速、高效和灵敏的特点。
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公开(公告)号:CN104961353A
公开(公告)日:2015-10-07
申请号:CN201510353795.9
申请日:2015-06-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种水热制备非对称正交结构的二维层状MoS2纳米薄膜的方法,将钼酸铵、硫脲、N-甲基吡咯烷酮、水按一定比例混合,在水热的条件下形成微米量级,乃至晶元尺寸的非对称结构MoS2纳米薄膜。这种纳米薄膜由横向堆积的纳米层和垂直排列的纳米片以正交形式构成,属于新型微、纳米材料制备领域。本发明方法简单,为研制低成本、高效能的二硫化钼光电器件提供重要的制备方法。
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公开(公告)号:CN103230858B
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201310161256.6
申请日:2013-05-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B05C3/10
Abstract: 一种圆筒式成膜装置,其特点在于包括一个敞口式的圆筒式腔体、一个圆形衬底、第一提拉勾、第二提拉勾和具有孔的圆盘形盖,所述的圆筒式腔体的内壁和内底设有相对的第一凹槽和第二凹槽,所述的第一凹槽和第二凹槽分别用于安放第一提拉勾和第二提拉勾,所述的圆形衬底的表面粗糙度低于3nm/(1mm×1mm),所述的圆形衬底外径比圆筒式腔体的内径小0.05mm到1mm,所述的圆形衬底水平地置于所述的圆筒式腔体内底和所述的第一提拉勾和第二提拉勾上,所述的圆盘形盖盖在所述的圆筒式腔体的口上。本发明装置的成膜面的粗糙度低于20nm/(1mm×1mm),能控制溶剂蒸发的速率,使固化在培养皿上的薄膜容易分离,不损坏培养皿和薄膜。
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公开(公告)号:CN103365118A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310307284.4
申请日:2013-07-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法,装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成,利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差,分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具有系统结构简单、操作方便、能有效、快速地对光束监测系统的光束位置和指向测量光路进行标定。
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