公开(公告)号：CN112394615B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202011279713.8

申请日：2020-11-16

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张子南 ,  李思坤 ,  王向朝 ,  成维 ,  胡少博 ,  刘珍

IPC: G03F1/76 ,  G03F1/80 ,  G03F7/20

Abstract: 一种极紫外光刻光源掩模优化方法，采用像素表征光源和掩模图形，通过点脉冲修正的厚掩模成像模型计算光刻胶像，以光刻胶图形和目标图形之间的图形误差作为评价函数，采用基于社会学习机制的粒子群算法(SLPSO)优化光源分布和掩模图形。本发明利用极紫外光刻厚掩模成像模型建立评价函数，提高了优化过程中成像计算的精度。另外，利用SLPSO算法有效提高了优化效率和寻优能力，提高了成像质量。

公开(公告)号：CN112394615A

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN202011279713.8

申请日：2020-11-16

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张子南 ,  李思坤 ,  王向朝 ,  成维 ,  胡少博 ,  刘珍

IPC: G03F1/76 ,  G03F1/80 ,  G03F7/20

Abstract: 一种极紫外光刻光源掩模优化方法，采用像素表征光源和掩模图形，通过点脉冲修正的厚掩模成像模型计算光刻胶像，以光刻胶图形和目标图形之间的图形误差作为评价函数，采用基于社会学习机制的粒子群算法(SLPSO)优化光源分布和掩模图形。本发明利用极紫外光刻厚掩模成像模型建立评价函数，提高了优化过程中成像计算的精度。另外，利用SLPSO算法有效提高了优化效率和寻优能力，提高了成像质量。

公开(公告)号：CN114895282A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210596748.7

申请日：2022-05-17

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 刘珍 ,  毕德仓 ,  陈卫标 ,  刘继桥

IPC: G01S7/481 ,  G01S7/483 ,  G01S17/95

Abstract: 本发明公开了一种相干探测激光测风雷达平衡探测装置，通过分离、调整退偏信号光的偏振态、相位差与和本振光的偏振方向相位差匹配，使得信号光退偏部分参与相干平衡探测，增强相干信号强度，提高探测信噪比。通过电光延迟晶体解决两个平衡探测臂之间的相位差精确调节问题，以及通过能量分束棱镜实现平衡探测双臂能量均分，最终实现了平衡探测最优化。

公开(公告)号：CN116953671A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310874964.8

申请日：2023-07-17

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 陈卫标 ,  刘珍 ,  毕德仓

IPC: G01S7/497

Abstract: 本发明公开了一种相干测风激光雷达光轴监测及自适应校正装置，通过引入额外的监测光与探测光共光路，不仅可以利用全部的回波信号，提高系统探测效率，而且可以同时监测发射光轴与接收光轴之间存在的偏差，通过分离、调整监测光的偏振态，分别构建发射光轴和接收光轴，利用面阵相机实时成像发射光斑和接收光斑，实时进行监测，监测结果反馈到光束调整镜控制器，从而实现实时校正光轴的功能，增大系统耦合效率。