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公开(公告)号：CN104004994A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410161353.X
申请日：2014-04-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种回转零件镀膜装置和镀膜方法，该装置包括固定在设备上的公转盘，公转盘中心下面联接自转轴；自转轴与自转齿轮固定联接，自转齿轮通过自转轴与支撑架的联接实现支撑；回转齿轮与回转轴固定联接，回转轴通过两个支架固定在支撑架上；回转齿轮与自转齿轮啮合联接；回转轴一端安装预蒸零件。本装置通过齿轮传动机构实现了形状复杂的回转零件表面的镀膜，提高了膜层的均匀性和质量，在蒸镀介质膜和焊料膜方面具有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN104294218A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410571421.X
申请日：2014-10-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 一种金锡薄膜制备装置和方法，该装置包括蒸发室、公转轴、公转盘、固定轴、工件架、推杆、支撑架、滑槽、电极和蒸发舟，通过推杆的移动推动Au球和Sn球沿着滑槽滚动落到蒸发舟上从而实现AuSn薄膜的制备，本发明可以精确控制AuSn薄膜中Au和Sn的厚度和比例，得到的薄膜具有结构致密、成分分布均匀的特点，在半导体激光器封装领域具有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN104294218B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410571421.X
申请日：2014-10-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种金锡薄膜制备装置和方法，该装置包括蒸发室、公转轴、公转盘、固定轴、工件架、推杆、支撑架、滑槽、电极和蒸发舟，通过推杆的移动推动Au球和Sn球沿着滑槽滚动落到蒸发舟上从而实现AuSn薄膜的制备，本发明可以精确控制AuSn薄膜中Au和Sn的厚度和比例，得到的薄膜具有结构致密、成分分布均匀的特点，在半导体激光器封装领域具有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN1674372A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510025280.2
申请日：2005-04-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多边形大功率半导体激光器叠层阵列模块，其构成是：在一多边形筒体中，每一边是一结构相同的梯形条块状的梯形半导体激光器组件，每一梯形条块的顶面朝内，自内至外依次是接触电极、次热沉和热沉条块紧密贴合在一起，在所述的接触电极的顶面的中央部分是轴向横排的多条大功率半导体激光器线阵列，该多个梯形半导体激光器组件固定在一水冷装置上，所述的接触电极通过连接电极和绝缘垫片由水冷装置上引出。本发明具有泵浦光源分布均匀、泵浦效率高、对大功率半导体激光器阵列腔面有保护作用、结构简单、成本低廉、易于更换的特点。
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公开(公告)号：CN2807566Y
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200520041041.1
申请日：2005-04-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多边形大功率半导体激光器叠层阵列模块，其构成是：在一多边形筒体中，每一边是一结构相同的梯形条块状的梯形半导体激光器组件，每一梯形条块的顶面朝内，自内至外依次是接触电极、次热沉和热沉条块紧密贴合在一起，在所述的接触电极的顶面的中央部分是轴向横排的多条大功率半导体激光器线阵列，该多个梯形半导体激光器组件固定在一水冷装置上，所述的接触电极通过连接电极和绝缘垫片由水冷装置上引出。本实用新型具有泵浦光源分布均匀、泵浦效率高、对大功率半导体激光器阵列腔面有保护作用，结构简单、成本低廉、易于更换的特点。
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