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公开(公告)号：CN117080184A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311096334.9
申请日：2023-08-29
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01L23/44 , H01L23/367 , F28D15/04
Abstract: 本发明提出一种自驱动嵌入式的歧管微通道换热装置，属于微通道散热技术领域。包括键合连接的上盖板和底板；上盖板上和底板上分别开设有对应的一对长隔热槽和一对短隔热槽，上盖板内侧面上设有冷却系统，包括储液腔、冷凝腔、连通着二腔的液体槽和一对蒸汽槽，液体槽内设有毛细材料；冷却系统内设有相变工质；底板的内侧面上设有微凹槽阵，与微凹槽阵对应的底板的外侧面设有芯片槽。本发明装置通过液体槽中的毛细材料产生的毛细力、微凹槽阵产生的毛细力和工质相变时产生的蒸汽的压差驱动相变工质循环工作，实现使底板上的芯片槽内的芯片温度在不超过90℃的条件下保持稳定运行。本发明歧管微通道换热装置的体积降至只有2.135cm3，且实现零功耗。
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