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公开(公告)号：CN116514175A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310549897.2
申请日：2023-05-16
申请人： 中国石油大学(华东) , 山东乾能科技创新有限公司
摘要： 本发明涉及一种铁酸锌/氧化钼纳米材料的制备方法、MEMS硫化氢传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明所述纳米材料的制备方法包括：（1）固体ZnFe2O4纳米线的制备；（2）MoOx纳米颗粒的制备；（3）铁酸锌/氧化钼纳米材料的制备。本发明制得的复合材料具有更好的表面形态，表面的沟壑形状更易使气体分子附着，循环性更好；本发明基于纳米材料制备了一种MEMS硫化氢传感器，其灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高；本发明还提供了一种MEMS硫化氢传感器的应用，传感器更小的形态使气敏材料的阻值更低，气体吸附时能更精准的测量，可以检测更低浓度硫化氢气体。
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公开(公告)号：CN118771359A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202310908841.1
申请日：2023-07-24
申请人： 中国石油大学(华东) , 山东乾能科技创新有限公司
IPC分类号： C01B32/16 , G01N27/30 , C01B32/168 , B82Y30/00 , B22F9/30 , B22F1/054 , C07D233/58
摘要： 本发明属于电解质材料技术领域，具体涉及BCNT/Co‑800+BMIMPF6材料及其制备的MEMS氧气传感器。所述BCNT/Co‑800+BMIMPF6材料为石墨相氮化碳衍生的竹节状碳纳米管/钴纳米颗粒杂化物和离子液体1‑丁基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐的复合物，其兼具液体电解质和固体电解质的优点，具有高热稳定性和高化学稳定性，可以在极端环境条件下使用；所述MEMS氧气传感器，采用上述材料作为电解质，采用硅片作为基底材料，第一硅片上溅射金作为工作电极和对电极，第二硅片上溅射银/氯化银作为参比电极，具有体积小，响应灵敏，稳定性高的优点。
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公开(公告)号：CN115015335A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210937939.5
申请日：2022-08-05
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及一种SnSe/SnO2/Gr复合材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明包括以下步骤：将SnCl2·2H2O、NaOH、Se、NaBH4，搅拌加热，干燥得到SnSe纳米粒子；溶解，高温保存后，暴露在空气中，冷却到室温，离心洗涤干燥，得到SnSe/SnO2纳米粒子；将浓硫酸置于冰水浴中，加入石墨粉和硝酸钠，加入高锰酸钾，去除冰水浴，加入双氧水，后处理得到GO粉末；制成悬浮液，加入到SnSe/SnO2溶液中，加入十六烷基三甲基溴化铵，离心干燥，高温加热，冷却。本发明制得的MEMS氨气传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。
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公开(公告)号：CN117285069A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311578311.1
申请日：2023-11-24
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
摘要： 本发明涉及MEMS气体传感器技术领域，尤其涉及一种钛酸锂镧/二氧化锡纳米材料、MEMS甲烷传感器。将硝酸镧、硝酸锂和柠檬酸分散在乙二醇和乙醇的混合溶液中，然后添加钛酸四丁酯并混合均匀，转移到反应釜中进行溶剂热反应，自然冷却后收集沉淀物，经洗涤、干燥和退火后得到La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末，将四氯化锡分散在水中，得到四氯化锡溶液，将乙醇和聚乙烯吡咯烷酮分别添加到四氯化锡溶液中，并各自混合均匀，将溶液转移到水热反应釜中进行水热反应，将溶液在室温下离心，收集沉淀物得到SnO2纳米颗粒，将La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末分散在水中，然后添加SnO2纳米颗粒，混合均匀后经高温退火处理，得到钛酸锂镧/二氧化锡纳米材料。对甲烷气体具有增加的响应特性及选择性。
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公开(公告)号：CN116873973B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202310848006.3
申请日：2023-07-12
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
摘要： La0.5Li0.5TiO3/CuO纳米材料及MEMS醋酸丙酯传感器和制备方法，属于MEMS气体传感器技术领域。其特征在于，包括以下步骤，将硝酸镧、柠檬酸钛酸四丁酯和硝酸锂混合均匀进行水热合成反应得到La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末；将硫酸铜分散在水中后依次添加偏二甲肼和氢氧化钾进行水热反应得到CuO纳米球；将前驱体粉末和CuO纳米球混合均匀后经高温退火处理得到纳米材料；对悬臂梁处喷涂所得纳米材料得到MEMS醋酸丙酯传感器。本发明通过生长法制备具有p‑n异质结的纳米材料，实现了对醋酸丙酯气体的良好的响应特性及选择性。
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公开(公告)号：CN116873973A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310848006.3
申请日：2023-07-12
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
摘要： La0.5Li0.5TiO3/CuO纳米材料及MEMS醋酸丙酯传感器和制备方法，属于MEMS气体传感器技术领域。其特征在于，包括以下步骤，将硝酸镧、柠檬酸钛酸四丁酯和硝酸锂混合均匀进行水热合成反应得到La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末；将硫酸铜分散在水中后依次添加偏二甲肼和氢氧化钾进行水热反应得到CuO纳米球；将前驱体粉末和CuO纳米球混合均匀后经高温退火处理得到纳米材料；对悬臂梁处喷涂所得纳米材料得到MEMS醋酸丙酯传感器。本发明通过生长法制备具有p‑n异质结的纳米材料，实现了对醋酸丙酯气体的良好的响应特性及选择性。
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公开(公告)号：CN115015335B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210937939.5
申请日：2022-08-05
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
IPC分类号： G01N27/12
摘要： 本发明涉及一种SnSe/SnO2/Gr复合材料的制备方法、MEMS氨气传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明包括以下步骤：将SnCl2·2H2O、NaOH、Se、NaBH4，搅拌加热，干燥得到SnSe纳米粒子；溶解，高温保存后，暴露在空气中，冷却到室温，离心洗涤干燥，得到SnSe/SnO2纳米粒子；将浓硫酸置于冰水浴中，加入石墨粉和硝酸钠，加入高锰酸钾，去除冰水浴，加入双氧水，后处理得到GO粉末；制成悬浮液，加入到SnSe/SnO2溶液中，加入十六烷基三甲基溴化铵，离心干燥，高温加热，冷却。本发明制得的MEMS氨气传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。
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公开(公告)号：CN114956010A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210898996.7
申请日：2022-07-28
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
摘要： 本发明涉及一种SnO2‑MoSe2复合材料的制备方法、MEMS二氧化硫传感器及其应用，属于MEMS气体传感器技术领域。本发明所述的SnO2‑MoSe2复合材料的制备方法，包括以下步骤：（1）MoSe2的制备：以钼酸钠和硒粉为原料，先后加入硼氢化钠、无水乙醇，进行水热反应，经过后处理得到MoSe2纳米材料；（2）SnO2‑MoSe2复合材料的制备：用乙醇溶解MoSe2，然后加入SnCl4•5H2O，置于高压反应釜中反应；冷却至室温后，依次经过固液分离和干燥，最后将所得产物在氩气下退火处理。本发明制得的MEMS二氧化硫传感器灵敏度高、响应恢复时间快、选择性高。
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公开(公告)号：CN117285069B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311578311.1
申请日：2023-11-24
申请人： 山东乾能科技创新有限公司
摘要： 本发明涉及MEMS气体传感器技术领域，尤其涉及一种钛酸锂镧/二氧化锡纳米材料、MEMS甲烷传感器。将硝酸镧、硝酸锂和柠檬酸分散在乙二醇和乙醇的混合溶液中，然后添加钛酸四丁酯并混合均匀，转移到反应釜中进行溶剂热反应，自然冷却后收集沉淀物，经洗涤、干燥和退火后得到La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末，将四氯化锡分散在水中，得到四氯化锡溶液，将乙醇和聚乙烯吡咯烷酮分别添加到四氯化锡溶液中，并各自混合均匀，将溶液转移到水热反应釜中进行水热反应，将溶液在室温下离心，收集沉淀物得到SnO2纳米颗粒，将La0.5Li0.5TiO3前驱体粉末分散在水中，然后添加SnO2纳米颗粒，混合均匀后经高温退火处理，得到钛酸锂镧/二氧化锡纳米材料。对甲烷气体具有增加的响应特性及选择性。
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公开(公告)号：CN111887807B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202010173737.9
申请日：2020-03-13
申请人： 中国石油大学(华东) , 深圳安德勒电气科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种纳秒脉冲电场诱导热声信号处理方法及系统，属于热声成像检测领域，目标体和A，B两个电极的极板间填充绝缘油，采用电极施加纳秒宽的脉冲电压，通过超声探头采集声信号；利用有限元方法求解得到目标体的电标位，再求解目标体内的电场强度和电流密度；目标体内的电场强度和电流密度与目标体的电导率分布有关；因目标体的热函数与其电导率分布有关，最终获得目标体声信号与电导率的分布关系。该方法具有高对比度、高分辨率、非接触测量、结构简单和穿透深度更大的优势。
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