本发明属于电解质材料技术领域，具体涉及BCNT/Co‑800+BMIMPF6材料及其制备的MEMS氧气传感器。所述BCNT/Co‑800+BMIMPF6材料为石墨相氮化碳衍生的竹节状碳纳米管/钴纳米颗粒杂化物和离子液体1‑丁基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐的复合物，其兼具液体电解质和固体电解质的优点，具有高热稳定性和高化学稳定性，可以在极端环境条件下使用；所述MEMS氧气传感器，采用上述材料作为电解质，采用硅片作为基底材料，第一硅片上溅射金作为工作电极和对电极，第二硅片上溅射银/氯化银作为参比电极，具有体积小，响应灵敏，稳定性高的优点。