一种半导体波导与SPP波导耦合器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116560000A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310440679.5

    申请日:2023-04-23

    Abstract: 本发明关于一种半导体波导与SPP波导耦合器,涉及集成纳米光子芯片技术领域。包括第一耦合器和第二耦合器,第一耦合器包括第一半导体波导、第一SPP波导和第二SPP波导;第二耦合器包括第二半导体波导、第三SPP波导和第四SPP波导;第一半导体波导位于第一SPP波导与第二SPP波导之间,第一半导体波导形成V形尖端结构,实现从光波模式到SPP模式的转化;第二半导体波导位于第三SPP波导与第四SPP波导之间,第二半导体波导的输入端设有V形槽,实现从SPP模式到光波模式的转化。本发明既可以将半导体中的光波转换为金属波导的SPP模式,也可以将金属波导的SPP模式传输至半导体波导中的光波模式。

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