公开(公告)号：CN113074665A

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN202110450922.2

申请日：2021-04-26

Applicant: 中国石油大学(华东)

Inventor： 于连栋 ,  王婧 ,  陆洋 ,  赵会宁

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法，包括以下步骤：步骤1、将光脉冲分束成参考光和测量光，引入色散，使测量光的脉冲展宽；步骤2、将参考光和展宽的测量光经扩束后分别由参考镜和待测样品反射到成像光谱仪，获取线轮廓的干涉光谱；步骤3、通过调节光脉冲的重复频率，改变参考光和测量光的光程差，重复步骤1‑2，获取线轮廓的干涉光谱；步骤4、将步骤2获取的线轮廓的干涉光谱和步骤3获取的线轮廓的干涉光谱进行错位拼接，即得到待测样品的线轮廓。本发明能够通过对输入光脉冲进行整形和频率扫描，克服光谱分辨干涉技术中方向模糊和死区的不足，而且在消除方向模糊和死区问题的同时，能够实现单次线轮廓测量。

公开(公告)号：CN113074665B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202110450922.2

申请日：2021-04-26

Applicant: 中国石油大学(华东)

Inventor： 于连栋 ,  王婧 ,  陆洋 ,  赵会宁

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于光谱分辨干涉的线轮廓测量方法，包括以下步骤：步骤1、将光脉冲分束成参考光和测量光，引入色散，使测量光的脉冲展宽；步骤2、将参考光和展宽的测量光经扩束后分别由参考镜和待测样品反射到成像光谱仪，获取线轮廓的干涉光谱；步骤3、通过调节光脉冲的重复频率，改变参考光和测量光的光程差，重复步骤1‑2，获取线轮廓的干涉光谱；步骤4、将步骤2获取的线轮廓的干涉光谱和步骤3获取的线轮廓的干涉光谱进行错位拼接，即得到待测样品的线轮廓。本发明能够通过对输入光脉冲进行整形和频率扫描，克服光谱分辨干涉技术中方向模糊和死区的不足，而且在消除方向模糊和死区问题的同时，能够实现单次线轮廓测量。