公开(公告)号：CN115684273A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211413947.6

申请日：2022-11-11

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 王新明 ,  吴卫东 ,  陈杰 ,  李佳 ,  倪爽 ,  石兆华 ,  李兆国 ,  祁道健 ,  周民杰

IPC分类号： G01N27/00 ,  G01N27/60

摘要： 本发明公开了一种高温超高精密电输运测试系统及测试方法，属于材料电学性能测试的技术领域，将待测样品放置在真空腔体内的样品台上，并将待测样品接入测试电路中；开启真空系统的抽真空单元，通过抽真空单元对真空腔体内抽真空；关闭真空系统中的抽真空单元，开启真空系统中的冷吸附泵，通过冷吸附泵将真空腔体维持高真空状态；开启测试系统，根据测试需求设置测试温度，并测试待测样品的电学性能，以达到在高真空环境下的测试结果达到10fA量级且测试结果的数据稳定可靠，同时，能实现测试不同温度点以及变温条件下高阻样品电学性能的目的。