公开(公告)号：CN114717533B

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN202210180780.7

申请日：2022-02-25

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 于翔 ,  高伟 ,  孙一博 ,  郭振华

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/56 ,  C23C16/02 ,  E21B47/00

Abstract: 本发明公开了一种利用仿生结构制备传感器电极保护薄膜的方法和应用，传感器电极保护薄膜为掺硼金刚石薄膜；步骤包括：电极基底处理；清洗去除电极基底表面油污；金刚石种晶处理；气相沉积薄膜：利用热丝化学气相沉积系统在电极基底表面沉积总厚度为2.8‑6μm的电极保护薄膜；真空退火；氟化处理。电极保护薄膜的成分为掺硼金刚石。本发明方法能够便捷高效进行制备生产；制得的传感器电极保护薄膜膜层均匀、覆盖完整；传感器电极保护薄膜的电极的耐腐蚀性能优于电极基体材料；该膜电极具有良好的导电性；具有极佳的疏油性能和硬度、耐腐蚀性能。仿生结构是仿造鱼鳞表面的亲水薄膜粘液和分级微‑纳结构之间的协同作用，来实现较佳的疏油性能。

公开(公告)号：CN114717533A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210180780.7

申请日：2022-02-25

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 于翔 ,  高伟 ,  孙一博 ,  郭振华

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/56 ,  C23C16/02 ,  E21B47/00

Abstract: 本发明公开了一种利用仿生结构制备传感器电极保护薄膜的方法和应用，传感器电极保护薄膜为掺硼金刚石薄膜；步骤包括：电极基底处理；清洗去除电极基底表面油污；金刚石种晶处理；气相沉积薄膜：利用热丝化学气相沉积系统在电极基底表面沉积总厚度为2.8‑6μm的电极保护薄膜；真空退火；氟化处理。电极保护薄膜的成分为掺硼金刚石。本发明方法能够便捷高效进行制备生产；制得的传感器电极保护薄膜膜层均匀、覆盖完整；传感器电极保护薄膜的电极的耐腐蚀性能优于电极基体材料；该膜电极具有良好的导电性；具有极佳的疏油性能和硬度、耐腐蚀性能。仿生结构是仿造鱼鳞表面的亲水薄膜粘液和分级微‑纳结构之间的协同作用，来实现较佳的疏油性能。