一种等离子体光学发射光谱检测装置及方法

    公开(公告)号:CN120009255A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510409161.4

    申请日:2025-04-02

    Abstract: 本发明提供了一种等离子体光学发射光谱检测装置及方法,涉及等离子体技术、传感器技术和检测技术领域,所述装置包括光学采集模块、光谱分析和数据处理模块、控制模块、等离子体发生模块以及外壳及防护系统,其中,光学采集模块通过可升降和移动的载镜台实现镜头的精确定位与稳定采集,光谱分析和数据处理模块设计了特定分析和探测模块对信号进行分解,且通过自定义等离子体组分解耦优化方法提取光谱特征并计算等离子体中离子、气体、电子和活性基团的浓度,控制模块对等离子体参数进行动态反馈调节以优化信号采集质量。本发明具有检测精度高、适应性强、模块化设计和动态优化能力,广泛适用于等离子体特性分析、工业过程控制及环境监测等领域。

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