一种全柔顺抗冲击过载的动质量补偿微定位装置

    公开(公告)号:CN114161215A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111606328.4

    申请日:2021-12-26

    IPC分类号: B23Q11/00 B23Q17/00

    摘要: 本发明公开了一种全柔顺抗冲击过载的动质量补偿微定位装置,包括柔顺杠杆机构、运动平台、质量配重平台、基座、多套导轨滑块组件、驱动器及传感器,所述柔顺杠杆机构固定在基座上,所述运动平台和质量配重平台分别通过所述多套导轨滑块组件与所述基座两侧连接,保留一个方向的平移自由度;所述柔顺杠杆机构的左右两端分别与所述运动平台和质量配重平台固连以形成全柔顺动质量补偿微定位系统;所述传感器用来实时监测运动平台相对基座的位移,使所述驱动器完成驱动动作。本发明具有结构简单、操作简便、定位精度高、运动范围大等优点。

    一种全柔顺抗冲击过载的动质量补偿微定位装置

    公开(公告)号:CN114161215B

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202111606328.4

    申请日:2021-12-26

    IPC分类号: B23Q11/00 B23Q17/00

    摘要: 本发明公开了一种全柔顺抗冲击过载的动质量补偿微定位装置,包括柔顺杠杆机构、运动平台、质量配重平台、基座、多套导轨滑块组件、驱动器及传感器,所述柔顺杠杆机构固定在基座上,所述运动平台和质量配重平台分别通过所述多套导轨滑块组件与所述基座两侧连接,保留一个方向的平移自由度;所述柔顺杠杆机构的左右两端分别与所述运动平台和质量配重平台固连以形成全柔顺动质量补偿微定位系统;所述传感器用来实时监测运动平台相对基座的位移,使所述驱动器完成驱动动作。本发明具有结构简单、操作简便、定位精度高、运动范围大等优点。

    一种线性化二维平动正应力式电磁微动平台

    公开(公告)号:CN114253004A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111608634.1

    申请日:2021-12-26

    IPC分类号: G02B27/64

    摘要: 本发明公开了一种线性化二维平动正应力式电磁微动平台,包括载物板、过渡板、基座、传感器组、多套导轨滑块组及多套正应力电磁致动器;多套所述导轨滑块组中具有X轴方向和Y轴方向的,所述基座与过渡板通过多套导轨滑块组连接,导轨滑块组的导向为X轴方向;所述过渡板与载物板通过多套导轨滑块组连接,导轨滑块组的导向为Y轴方向;所述载物板与正应力电磁致动器相连。本发明具有结构简单、出力密度大、响应速度超快、运动行程大、定位精度高等优点。

    一种高带宽差动电感位移传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114322728A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202111606330.1

    申请日:2021-12-26

    IPC分类号: G01B7/02

    摘要: 本发明公开了一种高带宽差动电感位移传感器,其包括两个传感器单元和衔铁,所述两个传感器单元安装于衔铁的两侧,呈对称布置安装;所述传感器单元包括安装定位于传感器封装组件内的传感器组件,所述传感器组件包括传感器线圈和传感器定子,传感器封装组件于传感器线圈之间保留了一定的间隙。所述衔铁为可移动的,当衔铁运动时,两侧的传感器单元就检测到传感器线圈中电感的变化,通过两个传感器单元得到传感器的位移量。本发明具有分辨率高、检测位移量大、精度高、可以动态测量等优点。