一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN101613091B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200910304873.0

    申请日:2009-07-27

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明提供了一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法;所述的CIGS粉末为纯CuInxGa1-xSe2相,其中0<x<1;该CIGS靶材具有均一的CuInxGa1-xSe2相,由所述的CIGS粉末经冷等静压或模压成型后烧结而得;所述的CIGS薄膜的制备方法为:先由所述的CIGS靶材经磁控溅射方法沉积一层薄膜,再将该薄膜进行热处理。所得的CIGS靶材的相对密度达95%以上,成分均匀,具有均一的CuInxGa1-xSe2相,制作成本低廉且性能稳定。本发明提供的CIGS薄膜制备工艺,极大地简化了传统工艺,提高了原材料利用率和生产效率。

    一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN101613091A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200910304873.0

    申请日:2009-07-27

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明提供了一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法;所述的CIGS粉末为纯CuInxGa1-xSe2相,其中0<x<1;该CIGS靶材具有均一的CuInxGa1-xSe2相,由所述的CIGS粉末经冷等静压或模压成型后烧结而得;所述的CIGS薄膜的制备方法为:先由所述的CIGS靶材经磁控溅射方法沉积一层薄膜,再将该薄膜进行热处理。所得的CIGS靶材的相对密度达95%以上,成分均匀,具有均一的CuInxGa1-xSe2相,制作成本低廉且性能稳定。本发明提供的CIGS薄膜制备工艺,极大地简化了传统工艺,提高了原材料利用率和生产效率。

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