一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片

    公开(公告)号:CN112285378A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202011129449.X

    申请日:2020-10-21

    Abstract: 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片,传感器包括:玻璃衬底,玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔,玻璃通孔内设置有导热金属;测温组件,设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部,用于检测电阻的变化;加热组件,设置在玻璃通孔底部,用于产生测量基准温度;以及互连组件,设置在互连组件两侧,导出测温组件的电信号。本发明的有益效果在于,本发明采用双面布局的形式,玻璃衬底上表面分布有检测单元测温,下表面设置有加热电阻加热,加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处,减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间,因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。

    一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验方法

    公开(公告)号:CN108518214B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN201810327762.0

    申请日:2018-04-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验方法,压裂介质为高温过热蒸汽,采用的方法是由三轴伺服控制加载系统为岩石试样施加三轴压力,由耐高温高压的锅炉盘管构成的饱和蒸汽发生装置和过热蒸汽发生装置与试样压裂孔串联,饱和蒸汽通过二次加热产生高温过热蒸汽,通过温控设备控制饱和蒸汽温度升高路径来控制饱和蒸汽的压力升高路径,从而控制整个串联管路中的蒸汽压力升高路径,实现岩石高温过热蒸汽控制压裂,利用饱和蒸汽温度与压力的固定关系,通过控制饱和蒸汽的温度升高路径来控制饱和蒸汽以及整个串联管路的蒸汽压力升高路径,串联的锅炉盘管取代传统蒸汽锅炉中的锅筒,实现高温过热蒸汽的控制压裂。

    一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验装置

    公开(公告)号:CN108518213A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810326323.8

    申请日:2018-04-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验装置,压裂介质为高温过热蒸汽,由三轴伺服控制加载系统为岩石试样施加三轴压力,耐高温高压的锅炉盘管构成的饱和蒸汽发生装置和过热蒸汽发生装置与试样压裂孔串联,饱和蒸汽通过二次加热产生高温过热蒸汽,通过温控设备控制饱和蒸汽温度升高路径来控制饱和蒸汽的压力升高路径,从而控制整个串联管路中的蒸汽压力升高路径,实现岩石高温过热蒸汽控制压裂,利用饱和蒸汽温度与压力的固定关系,通过控制饱和蒸汽的温度升高路径来控制饱和蒸汽以及整个串联管路的蒸汽压力升高路径,串联的锅炉盘管取代传统蒸汽锅炉中的锅筒,并在试样加载的上压板设计蒸汽导流装置,实现高温过热蒸汽的控制压裂。

    一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验装置

    公开(公告)号:CN108518213B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN201810326323.8

    申请日:2018-04-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验装置,压裂介质为高温过热蒸汽,由三轴伺服控制加载系统为岩石试样施加三轴压力,耐高温高压的锅炉盘管构成的饱和蒸汽发生装置和过热蒸汽发生装置与试样压裂孔串联,饱和蒸汽通过二次加热产生高温过热蒸汽,通过温控设备控制饱和蒸汽温度升高路径来控制饱和蒸汽的压力升高路径,从而控制整个串联管路中的蒸汽压力升高路径,实现岩石高温过热蒸汽控制压裂,利用饱和蒸汽温度与压力的固定关系,通过控制饱和蒸汽的温度升高路径来控制饱和蒸汽以及整个串联管路的蒸汽压力升高路径,串联的锅炉盘管取代传统蒸汽锅炉中的锅筒,并在试样加载的上压板设计蒸汽导流装置,实现高温过热蒸汽的控制压裂。

    一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验方法

    公开(公告)号:CN108518214A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810327762.0

    申请日:2018-04-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开一种岩石高温高压过热蒸汽控制压裂试验方法,压裂介质为高温过热蒸汽,采用的方法是由三轴伺服控制加载系统为岩石试样施加三轴压力,由耐高温高压的锅炉盘管构成的饱和蒸汽发生装置和过热蒸汽发生装置与试样压裂孔串联,饱和蒸汽通过二次加热产生高温过热蒸汽,通过温控设备控制饱和蒸汽温度升高路径来控制饱和蒸汽的压力升高路径,从而控制整个串联管路中的蒸汽压力升高路径,实现岩石高温过热蒸汽控制压裂,利用饱和蒸汽温度与压力的固定关系,通过控制饱和蒸汽的温度升高路径来控制饱和蒸汽以及整个串联管路的蒸汽压力升高路径,串联的锅炉盘管取代传统蒸汽锅炉中的锅筒,实现高温过热蒸汽的控制压裂。

    一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片

    公开(公告)号:CN214622709U

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN202022353248.X

    申请日:2020-10-21

    Abstract: 一种高灵敏度MEMS石墨烯风速风向传感器芯片,传感器包括:玻璃衬底,玻璃衬底上开设有多个玻璃通孔,玻璃通孔内设置有导热金属;测温组件,设置在玻璃衬底上表面且位于玻璃通孔顶部,用于检测电阻的变化;加热组件,设置在玻璃通孔底部,用于产生测量基准温度;以及互连组件,设置在互连组件两侧,导出测温组件的电信号。本实用新型的有益效果在于,本实用新型采用双面布局的形式,玻璃衬底上表面分布有检测单元测温,下表面设置有加热电阻加热,加热电阻发出的热量能够以最短的距离传导至石墨烯测温单元处,减少了单面布局的传感器热量由衬底表面传导至衬底背面的时间,因此能够大幅度的提高测风的精度、灵敏度以及响应速率。

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