公开(公告)号：CN103424719A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310288266.6

申请日：2013-07-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 张晓明 ,  刘俊 ,  唐军 ,  李杰 ,  陈国彬 ,  王宇 ,  赵代弟 ,  杨国欢 ,  赖正喜

IPC: G01R33/06 ,  H01L43/00 ,  H01L43/12

Abstract: 本发明涉及微型磁传感器，具体是一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件及其制造方法。本发明解决了现有微型磁传感器不适用于深空、深海、深地的磁场矢量信息测量的问题。一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件包括SiO2基底、下金属电极板、磁敏材料层、上金属电极板；其中，磁敏材料层由N个Fe3O4纳米颗粒层与N+1个聚合物层交替层叠构成，N为正整数；下金属电极板层叠于SiO2基底的上表面；磁敏材料层层叠于下金属电极板的上表面；上金属电极板层叠于磁敏材料层的上表面。本发明适用于各种场合的磁场矢量信息测量，尤其适用于深空、深海、深地的磁场矢量信息测量。

公开(公告)号：CN103439749A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201310288244.X

申请日：2013-07-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 张晓明 ,  唐军 ,  刘俊 ,  李杰 ,  鲍爱达 ,  王宇 ,  赵代弟 ,  赖正喜 ,  杨国欢 ,  赵鑫炉 ,  白渚铨

IPC: G01V3/40

Abstract: 本发明涉及微型磁传感器，具体是一种应用于微型磁传感器的磁集聚放大导向结构。本发明解决了现有微型磁传感器对地磁场的敏感性过于微弱的问题。一种应用于微型磁传感器的磁集聚放大导向结构，包括磁集聚放大结构和磁集聚导向结构；所述磁集聚放大结构包括台体部分；所述磁集聚导向结构包括延伸于台体部分细端的柱体部分；台体部分和柱体部分均由高磁导率软磁材料制成。本发明适用于微型磁传感器。

公开(公告)号：CN103424719B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201310288266.6

申请日：2013-07-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 张晓明 ,  高丽珍 ,  刘俊 ,  唐军 ,  李杰 ,  陈国彬 ,  王宇 ,  赵代弟 ,  杨国欢 ,  赖正喜

IPC: G01R33/06 ,  H01L43/00 ,  H01L43/12

Abstract: 本发明涉及微型磁传感器，具体是一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件及其制造方法。本发明解决了现有微型磁传感器不适用于深空、深海、深地的磁场矢量信息测量的问题。一种基于纳米磁颗粒的磁矢量敏感元件包括SiO2基底、下金属电极板、磁敏材料层、上金属电极板；其中，磁敏材料层由N个Fe3O4纳米颗粒层与N+1个聚合物层交替层叠构成，N为正整数；下金属电极板层叠于SiO2基底的上表面；磁敏材料层层叠于下金属电极板的上表面；上金属电极板层叠于磁敏材料层的上表面。本发明适用于各种场合的磁场矢量信息测量，尤其适用于深空、深海、深地的磁场矢量信息测量。