公开(公告)号：CN117782407A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202410031961.2

申请日：2024-01-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 王俊强 ,  范慧榕 ,  曹咏弘 ,  李孟委

IPC: G01L9/04 ,  G01L9/00 ,  G01L1/22 ,  G01L19/00 ,  G01L19/14 ,  G01L19/06

Abstract: 本发明公开了一种基于倒装结构的石墨烯超高压压力传感器，具体涉及高压压力测试技术领域，包括封装外壳、传压膜片、承压膜片和电连接器，传压膜片与封装外壳顶部连接，电连接器与封装外壳底部连接，传压膜片、封装外壳和电连接器形成封闭的检测空间，传压膜片伸入封装外壳的一端的凹槽中心设置第一凸柱，承压膜片嵌入传压膜片伸入封装外壳的一端，且第一凸柱与承压膜片连接，承压膜片中心开设的方形孔上设置有十字梁，十字梁远离第一凸柱的一侧与承压膜片的连接处均设置有纳米检测单元，纳米检测单元通过设置在检测空间内的互连引线与电连接器连接。本发明能够提高传感器的抗冲击能力，减小压力传感器的体积，工艺简单，降低制作成本。