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公开(公告)号:CN116399380A
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN202310193350.3
申请日:2023-03-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种多功能实时无线监测解调系统,该系统中多参数共面集成谐振型传感器与射频信号采集/解调电路连接;射频信号采集/解调电路与所述上位机连接;多参数共面集成谐振型传感器包括:第一基底、第二基底、温度敏感单元与压力敏感单元;第一基底的下表面设置凹槽;第二基底的上表面与第一基底的下表面键合在一起,使凹槽处形成密闭的空腔;压力敏感单元设置在空腔的中心位置对应的第一基底的上表面处;温度敏感单元设置在第一基底的上表面,且与压力敏感单元相距设定距离;温度敏感单元与压力敏感单元连接;本发明能够在高温高压、高旋、狭小等恶劣下进行实时监测。