公开(公告)号：CN102103013A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN201010581544.3

申请日：2010-12-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  杨玉华 ,  何常德 ,  关凌纲 ,  石归雄 ,  熊继军 ,  张文栋 ,  许娇 ,  王晓瑶

IPC: G01H11/06 ,  G01S7/521 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种三维矢量水听器。解决了现有组合式三维矢量水听器存在的不利于实现微型化、且不易批量化生产等问题，包括分别用于敏感X向、Y向、Z向三方向水下声信号的敏感单元；用于敏感Z向单方向水下声信号的敏感单元包含半导体框架、悬置于半导体框架内且平行设置的两悬臂梁，两悬臂梁等长，且单端与半导体框架同一边框固定，自由端通过连接梁固定于一起；两悬臂梁与半导体框架固定的端部分别设有应变敏感元件，半导体框架上设有两基准敏感元件，连接组成电桥电路；两敏感单元的半导体框架为同平面集成。本发明结构简单、新颖，单片集成，易于微型化，易于制作和批量化生产，应用范围广阔。

公开(公告)号：CN102103013B

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201010581544.3

申请日：2010-12-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  杨玉华 ,  何常德 ,  关凌纲 ,  石归雄 ,  熊继军 ,  张文栋 ,  许娇 ,  王晓瑶

IPC: G01H11/06 ,  G01S7/521 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种三维矢量水听器。解决了现有组合式三维矢量水听器存在的不利于实现微型化、且不易批量化生产等问题，包括分别用于敏感X向、Y向、Z向三方向水下声信号的敏感单元；用于敏感Z向单方向水下声信号的敏感单元包含半导体框架、悬置于半导体框架内且平行设置的两悬臂梁，两悬臂梁等长，且单端与半导体框架同一边框固定，自由端通过连接梁固定于一起；两悬臂梁与半导体框架固定的端部分别设有应变敏感元件，半导体框架上设有两基准敏感元件，连接组成电桥电路；两敏感单元的半导体框架为同平面集成。本发明结构简单、新颖，单片集成，易于微型化，易于制作和批量化生产，应用范围广阔。