公开(公告)号：CN115962767A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211561244.8

申请日：2022-12-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 金丽 ,  王策 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01C19/5649 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明属于MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种基于光学拍频检测的闪耀光栅MEMS陀螺，所述第一分束镜的一个光路方向上设置有第一反射镜，所述第一分束镜的另一个光路方向上设置有环形器，所述环形器的一个光路方向上设置有准直透镜，所述准直透镜的光路方向上设置有闪耀光栅陀螺，所述第一反射镜的反射光路上设置有第二分束镜，所述环形器的另一个光路方向上设置有第二反射镜，所述第二反射镜的反射光路上设置有第二分束镜，所述第二分束镜的一个光路方向上设置有光电探测器。本发明是通过检测闪耀光栅的偏转角度来实现对MEMS陀螺角速率的测量，在加工上降低加工难度，并且在结构上减小了交叉串扰对陀螺灵敏度的影响。

公开(公告)号：CN116699172A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310695297.7

申请日：2023-06-13

Applicant: 中北大学

Inventor： 金丽 ,  张晓玉 ,  李孟委 ,  王策

IPC: G01P15/03 ,  G01P15/18 ,  G01P1/00

Abstract: 本发明属于加速度传感装置技术领域，具体涉及一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，所述激光器包括第一激光器和第二激光器，所述分束镜设置在第一激光器和第二激光器的光路方向上，所述第一激光器经分束镜的反射光路上设置有第一金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的反射光路上设置有第一光栅加速度计结构，所述第一激光器经分束镜的透射光路上设置有第二金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的透射光路上设置有第二光栅加速度计结构。本发明利用纳米光栅衍射光强的变化来实现微位移测量，进而检测加速度的大小，使测量系统具有更高的灵敏度和分辨率。

公开(公告)号：CN113916208A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111170211.6

申请日：2021-10-08

Applicant: 中北大学

Inventor： 金丽 ,  王策 ,  李晋华 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本发明属于纳米光栅三轴MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种减小交叉耦合串扰的纳米光栅三轴MEMS陀螺，包括上层光栅、下层光栅、驱动磁体、底座，所述上层光栅、下层光栅、驱动磁体均设置在底座内，所述上层光栅设置在下层光栅上，所述下层光栅设置在驱动磁体上。本发明通过使用SOI加工方案，同时将陀螺结构实现高度对称的状态，使得x,y轴光栅陀螺的重心位于结构的中心处，有效的避免了交叉耦合对三轴陀螺测试带来的影响，提高了光栅陀螺的灵敏度。同时本发明采用阳极键合和SOI加工工艺，可以实现对面内双层光栅之间的距离精确控制，提高了三轴陀螺的灵敏度。

公开(公告)号：CN113916208B

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202111170211.6

申请日：2021-10-08

Applicant: 中北大学

Inventor： 金丽 ,  王策 ,  李晋华 ,  辛晨光 ,  李孟委

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本发明属于纳米光栅三轴MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种减小交叉耦合串扰的纳米光栅三轴MEMS陀螺，包括上层光栅、下层光栅、驱动磁体、底座，所述上层光栅、下层光栅、驱动磁体均设置在底座内，所述上层光栅设置在下层光栅上，所述下层光栅设置在驱动磁体上。本发明通过使用SOI加工方案，同时将陀螺结构实现高度对称的状态，使得x,y轴光栅陀螺的重心位于结构的中心处，有效的避免了交叉耦合对三轴陀螺测试带来的影响，提高了光栅陀螺的灵敏度。同时本发明采用阳极键合和SOI加工工艺，可以实现对面内双层光栅之间的距离精确控制，提高了三轴陀螺的灵敏度。