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公开(公告)号：CN116699172A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310695297.7
申请日：2023-06-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于加速度传感装置技术领域，具体涉及一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，所述激光器包括第一激光器和第二激光器，所述分束镜设置在第一激光器和第二激光器的光路方向上，所述第一激光器经分束镜的反射光路上设置有第一金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的反射光路上设置有第一光栅加速度计结构，所述第一激光器经分束镜的透射光路上设置有第二金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的透射光路上设置有第二光栅加速度计结构。本发明利用纳米光栅衍射光强的变化来实现微位移测量，进而检测加速度的大小，使测量系统具有更高的灵敏度和分辨率。
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