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公开(公告)号:CN115856558A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202111610382.6
申请日:2021-12-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01R31/26 , G01N23/04 , G01N23/207
Abstract: 本发明公开了一种基于InAs量子点嵌入HEMT结构的抗辐照测试方法,利用量子点抗辐照特性,通过微纳工艺完成将InAs量子点嵌入HEMT结构,以增强其抗辐照的特性。并对InAs量子点嵌入HEMT结构和HEMT结构利用60Co‑γ射线进行辐照前后的性能对比,验证其抗辐照性能,利用该方法可以对HEMT器件的制备提供关键技术支持和约束条件,以提高器件的可靠性。