公开(公告)号：CN102830370B

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201210294098.7

申请日：2012-08-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  石云波 ,  薛晨阳 ,  张晓明 ,  李杰 ,  毛宏庆 ,  温焕飞

IPC: G01R33/02

Abstract: 本发明涉及磁场检测装置，具体为一种基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置及其制造方法，解决了现有基于Fe3O4纳米颗粒的磁流体材料制备条件苛刻且长期放置时极不稳定的问题。基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置，包括下铜片电极、敏感材料层、上铜片电极；敏感材料层是由颗粒度为20nm的Fe3O4纳米颗粒与聚合物绝缘胶以质量比为1:2-3.5的比例混合而成；敏感材料层的外边缘上涂有绝缘硅胶。同时公开了上述基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置的制造方法。本发明所述的装置性能稳定，制备方法简单，分辨率可以达到30nT左右，可测试磁场范围较宽；可广泛适用于车辆检测、无刷电机、目标识别、地磁导航等方面。

公开(公告)号：CN102520376A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110434180.0

申请日：2011-12-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  石云波 ,  张晓明 ,  郭浩 ,  毛宏庆

IPC: G01R33/07 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及MEMS磁传感器领域，具体是一种十字电流型三轴矢量磁传感器。本发明为了解决现有磁传感器精度低、灵敏度差的问题。十字电流型三轴矢量磁传感器，包括GaAs衬底、两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件以及一个基于HEMT的水平型电流霍尔器件；其是由包括如下步骤的制备方法制得的：制作基片；形成两个梯形RTD台面和HEMT台面；制备两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件；制备基于HEMT的水平型电流霍尔器件。本发明所述的磁传感器精度高、灵敏度好，可广泛适用于各种导航系统。

公开(公告)号：CN102830370A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210294098.7

申请日：2012-08-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  石云波 ,  薛晨阳 ,  张晓明 ,  李杰 ,  毛宏庆 ,  温焕飞

IPC: G01R33/02

Abstract: 本发明涉及磁场检测装置，具体为一种基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置及其制造方法，解决了现有基于Fe3O4纳米颗粒的磁流体材料制备条件苛刻且长期放置时极不稳定的问题。基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置，包括下铜片电极、敏感材料层、上铜片电极；敏感材料层是由颗粒度为20nm的Fe3O4纳米颗粒与聚合物绝缘胶以质量比为1∶2-3.5的比例混合而成；敏感材料层的外边缘上涂有绝缘硅胶。同时公开了上述基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置的制造方法。本发明所述的装置性能稳定，制备方法简单，分辨率可以达到30nT左右，可测试磁场范围较宽；可广泛适用于车辆检测、无刷电机、目标识别、地磁导航等方面。

公开(公告)号：CN102520376B

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201110434180.0

申请日：2011-12-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 唐军 ,  刘俊 ,  石云波 ,  张晓明 ,  郭浩 ,  毛宏庆

IPC: G01R33/07 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及MEMS磁传感器领域，具体是一种十字电流型三轴矢量磁传感器。本发明为了解决现有磁传感器精度低、灵敏度差的问题。十字电流型三轴矢量磁传感器，包括GaAs衬底、两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件以及一个基于HEMT的水平型电流霍尔器件；其是由包括如下步骤的制备方法制得的：制作基片；形成两个梯形RTD台面和HEMT台面；制备两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件；制备基于HEMT的水平型电流霍尔器件。本发明所述的磁传感器精度高、灵敏度好，可广泛适用于各种导航系统。