公开(公告)号：CN115780222A

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202211429161.3

申请日：2022-11-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾利成 ,  张文栋 ,  梁永 ,  张国军 ,  王仁鑫 ,  何常德 ,  杨玉华 ,  崔建功

IPC: B06B1/02 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明为一种高灵敏度MEMS电容式超声波换能器，属于MEMS换能器技术领域。该换能器由若干个换能器单元依次紧密排布组成，换能器单元由上而下依次为上电极层、振动薄膜、绝缘支撑层、衬底硅片和下电极层；换能器单元上设置有若干围绕上电极层周缘一圈均布设置的反射腔，换能器单元上设置有一个内腔，若干反射腔的底部均与内腔的底部连通。本发明超声波换能器是在换能器单元上设计反射腔结构，通过反射腔将超声换能器振动薄膜振动后向下传播损耗的声能向上引导后传播出去，从而提高输出的声能，实现提高MEMS超声波换能器灵敏度的目的。本发明高灵敏度MEMS电容式超声波换能器具有设计科学、结构简单、灵敏度高等优点。