公开(公告)号：CN119573923A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411769378.8

申请日：2024-12-04

Applicant: 中北大学

Inventor： 丁琦 ,  王红亮 ,  张峰 ,  张鹏 ,  杨润泽 ,  何常德 ,  李强 ,  崔永俊 ,  张文栋

IPC: G01L1/14 ,  B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B06B1/02

Abstract: 本发明涉及压力（0~200kPa）检测领域，尤其涉及MEMS集成压力传感器件或用于宽量程压力测量的单片集成多频电容式微机械超声换能器（CMUTs）。所述单片集成多频CMUTs，在芯片上集成有第一CMUTs、第二CMUTs以及第三CMUTs；通过调整第一、第二、第三CMUT单元的振膜厚度、空腔高度、振膜半径以及第二CMUT单元空腔内的压力值，使第一、第二CMUT单元工作于小挠度变形的线性范围内，第三CMUT单元工作于大挠度变形的线性范围内，且第一、第二、第三CMUT单元的工作范围构成连续完整的测量区间，谐振频率互不重叠，实现了可用于0~200 kPa全压力范围测量的集成压力传感器件。