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公开(公告)号：CN112713638A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110032511.1
申请日：2021-01-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及用于可穿戴电子设备的自供能柔性储能器件，具体为一种自供能柔性储能器件以及自供能传感器件，解决了背景技术中的问题，其包括能量收集装置、柔性电子线路和柔性超级电容器，还包括绝缘硅胶封装套，通过绝缘硅胶封装套将能量收集装置、柔性电子线路和柔性超级电容器合并封装。本发明提供了一种自供能柔性储能器件以及自供能传感器件，其具有尺寸小、结构多变、安全性高以及舒适度好等优点，而且柔性超级电容器可以提供更高的功率密度，更快的充电速度以及更长的使用周期，这些参数对于可穿戴电子设备的进一步优化与发展至关重要，为可穿戴电子设备的升级提供了更好的保障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113596690A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110927935.4
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及新型压电式MEMS麦克风的结构及装置，主要涉及麦克风领域。本申请涉及的新型压电式MEMS麦克风的结构，该第一电极层、压电结构层和第二电极层可以在声音信号的作用下，进行振动，使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出电信号发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到准确的声音信号。利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当薄膜受到气流压迫式，薄膜进行形变并带动压电材质产生形变，压电材质产在物理特性改善时产生电信号进行输出。即本申请通过增加边缘与中心孔隙，使得本申请的麦克风检测声音信号的灵敏度得到提高，进而使得该麦克风输出的与声音相关的电压信号更准确稳定。
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公开(公告)号：CN113507676B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202110927946.2
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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公开(公告)号：CN113507676A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110927946.2
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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公开(公告)号：CN113596690B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110927935.4
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及新型压电式MEMS麦克风的结构及装置，主要涉及麦克风领域。本申请涉及的新型压电式MEMS麦克风的结构，该第一电极层、压电结构层和第二电极层可以在声音信号的作用下，进行振动，使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出电信号发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到准确的声音信号。利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当薄膜受到气流压迫式，薄膜进行形变并带动压电材质产生形变，压电材质产在物理特性改善时产生电信号进行输出。即本申请通过增加边缘与中心孔隙，使得本申请的麦克风检测声音信号的灵敏度得到提高，进而使得该麦克风输出的与声音相关的电压信号更准确稳定。
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公开(公告)号：CN215956645U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202121890231.6
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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