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公开(公告)号：CN117629077A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311601099.6
申请日：2023-11-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于微位移测量技术领域，具体涉及一种基于微纳波导横向倍频的成像式微位移传感器，激光器的光路方向上设置有第一光纤，第一光纤的光路方向上设置有分束器，分束器的一个光路方向上设置有第二光纤，分束器的另一个光路方向上设置有第三光纤，第二光纤与纳米波导的一端连接，第三光纤连接有空间耦合器，空间耦合器通过第四光纤与纳米波导的另一端连接。本发明基于非线性微纳波导的横向倍频效应，通过CCD成像方式检测横向倍频图案的空间位置变化情况，反演待测光和基准光光程差变化量，从而得到待测光路中待测物体的位移信息，实现位移量向光程差的精准传递。
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