公开(公告)号：CN110207839A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201910386553.8

申请日：2019-05-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  陈绪文 ,  王俊强 ,  张腾 ,  王鹏程 ,  李明浩 ,  梁海坚

IPC: G01K7/16

Abstract: 本发明涉及高温测试技术领域，具体涉及一种石墨烯高温温度传感器。一种石墨烯高温温度传感器，主要结构包括：纳米膜、互连电极、衬底、密封环、封装外壳、陶瓷基板、引线柱。纳米膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成，布置在衬底的下表面，衬底上表面刻蚀出多孔结构以加快热传导，互连电极由互连凸点键合互连焊盘组成，通过引线柱将检测单元与外部相连。采用Pt-Pt金属键合技术使衬底与陶瓷基板形成真空腔，隔绝了纳米膜与外界的直接接触，为纳米膜提供无氧防护。氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜既是器件的功能材料，又是其结构材料。器件可以长期稳定工作在1700℃的高温，并且耐酸碱、抗腐蚀，适用于各种高温测试环境。

公开(公告)号：CN210774407U

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201920661752.0

申请日：2019-05-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  陈绪文 ,  王俊强 ,  张腾 ,  王鹏程 ,  李明浩 ,  梁海坚

IPC: G01K7/16

Abstract: 本实用新型涉及高温测试技术领域，具体涉及一种石墨烯高温温度传感器。一种石墨烯高温温度传感器，主要结构包括：纳米膜、互连电极、衬底、密封环、封装外壳、陶瓷基板、引线柱。纳米膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成，布置在衬底的下表面，衬底上表面刻蚀出多孔结构以加快热传导，互连电极由互连凸点键合互连焊盘组成，通过引线柱将检测单元与外部相连。采用Pt‑Pt金属键合技术使衬底与陶瓷基板形成真空腔，隔绝了纳米膜与外界的直接接触，为纳米膜提供无氧防护。氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜既是器件的功能材料，又是其结构材料。器件可以长期稳定工作在1700℃的高温，并且耐酸碱、抗腐蚀，适用于各种高温测试环境。