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发明公开
一种MEMS超声波换能器审中-实审

公开(公告)号：CN115780223A

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202211429162.8

申请日：2022-11-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾利成 , 张文栋 , 张君慧 , 张国军 , 王仁鑫 , 何常德 , 杨玉华 , 崔建功

IPC: B06B1/02 , B06B1/06

Abstract: 本发明为一种MEMS超声波换能器，其包括若干个按照行列规则排布的换能器单元，由上而下依次为上电极层、振动薄膜、绝缘支撑层、衬底硅片和下电极层，振动薄膜和绝缘支撑层上开设有若干围绕上电极层设置的通孔，振动薄膜和绝缘支撑层上开设有一圈环形槽，衬底硅片的顶面中心处设有与通孔相通的凹槽。本发明通过在换能器单元器件层之间刻蚀环形槽结构来降低换能器在工作时的锚点损耗来，同时通过在换能器单元器件层上刻蚀通孔结构来使换能器振动薄膜从类高斯运动变为类活塞运动，最终达到了提高换能器灵敏度的目的。

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