公开(公告)号：CN114544063A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202210163766.6

申请日：2022-02-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹咏弘 ,  康裕 ,  李孟委

IPC: G01L9/06

Abstract: 本发明属于压力传感器技术领域，具体涉及一种基于石墨烯的耐辐照压力传感器，包括陶瓷端盖、第一密封圈、第二密封圈、陶瓷弹性膜片、基板、封装外壳和检测单元，所述封装外壳的顶部设置有陶瓷端盖，所述封装外壳内部设置有陶瓷弹性膜片，所述陶瓷弹性膜片分别通过第一密封圈和第二密封圈与陶瓷端盖连接，所述封装外壳内部的底面上设置有基板，所述基板上设置有检测单元。本发明在原有基于石墨烯薄膜的压力传感器基础上，利用陶瓷端盖和陶瓷弹性膜片替代其他金属材料或者半导体材料，并且通过密封圈将弹性膜片与端盖配合起来，形成密闭内部空间，实现了高辐照环境下的压力测量。

公开(公告)号：CN114544063B

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN202210163766.6

申请日：2022-02-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹咏弘 ,  康裕 ,  李孟委

IPC: G01L9/06

Abstract: 本发明属于压力传感器技术领域，具体涉及一种基于石墨烯的耐辐照压力传感器，包括陶瓷端盖、第一密封圈、第二密封圈、陶瓷弹性膜片、基板、封装外壳和检测单元，所述封装外壳的顶部设置有陶瓷端盖，所述封装外壳内部设置有陶瓷弹性膜片，所述陶瓷弹性膜片分别通过第一密封圈和第二密封圈与陶瓷端盖连接，所述封装外壳内部的底面上设置有基板，所述基板上设置有检测单元。本发明在原有基于石墨烯薄膜的压力传感器基础上，利用陶瓷端盖和陶瓷弹性膜片替代其他金属材料或者半导体材料，并且通过密封圈将弹性膜片与端盖配合起来，形成密闭内部空间，实现了高辐照环境下的压力测量。