公开(公告)号：CN112857352B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202110403944.3

申请日：2021-04-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  赵锐 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明具体是一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺抗冲击性能差以及输出信号受冲击影响大的问题。一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、八个块状锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN112857352A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110403944.3

申请日：2021-04-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  赵锐 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明具体是一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构。解决了现有微机械振动陀螺抗冲击性能差以及输出信号受冲击影响大的问题。一种具有良好抗冲击性能的冗余双环式微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状内层谐振质量、圆环状外层谐振质量、八个块状锚点、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括四个弧形内层驱动模态位移测量电极、四个弧形外层驱动模态位移测量电极、四个弧形内层检测模态位移测量电极、四个弧形外层检测模态位移测量电极、八对弧形内层控制电极、八对弧形外层控制电极。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN118603070A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410812556.4

申请日：2024-06-22

Applicant: 中北大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院 ,  赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

Inventor： 魏雯强 ,  曹慧亮 ,  田慧敏 ,  王晓毅 ,  谢会开 ,  杨云春 ,  蔡麒 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN116793327A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310710966.3

申请日：2023-06-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 蔡麒 ,  刘俊 ,  石云波 ,  张晓明 ,  唐军 ,  曹慧亮 ,  申冲 ,  魏雯强 ,  崔让 ,  张桐林

IPC: G01C19/5691

Abstract: 本发明涉及壳体谐振陀螺仪，具体是一种基于静电压电双驱动的高灵敏度壳体谐振陀螺仪。本发明解决了现有壳体谐振陀螺仪灵敏度较低的问题。一种基于静电压电双驱动的高灵敏度壳体谐振陀螺仪，包括支撑方盘、八根支撑螺杆、八个锁紧螺母、支撑圆盘、支撑圆管、两个驱动平面电极、两个检测平面电极、两个驱动模态反馈平面电极、两个检测模态补偿平面电极、八根导电圆柱、八个导电膜片、谐振子、中心圆管、四个驱动压电电极、四个检测模态补偿压电电极、紧固螺栓。本发明适用于航空、航天、航海、工业、农业、交通等领域。

公开(公告)号：CN112379128B

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202011420804.9

申请日：2020-12-08

Applicant: 中北大学 ,  中国人民解放军陆军步兵学院石家庄校区

Inventor： 曹慧亮 ,  刘丽 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  崔让

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及谐振式微机械加速度计的标定补偿方法，具体是一种基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法。本发明解决了现有谐振式微机械加速度计标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限、容易导致系统的测量和控制精度降低的问题。基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）将谐振式微机械加速度计的工作模态设定为谐振模态；2）产生虚拟惯性力；3）对谐振式微机械加速度计进行自标定；4）对谐振式微机械加速度计进行自补偿。本发明适用于谐振式微机械加速度计的标定补偿。

公开(公告)号：CN118603071A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410812589.9

申请日：2024-06-22

Applicant: 中北大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院 ,  赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司

Inventor： 曹慧亮 ,  田慧敏 ,  魏雯强 ,  王晓毅 ,  谢会开 ,  杨云春 ,  王馨宇 ,  崔让

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、灵敏度低的问题。全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括中心锚点；中心锚点的外侧面连接有两根呈左右对称分布的直形支撑悬梁A；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座的上表面溅射有中心点状平面电极、四个沿周向对称分布的等腰梯形平面电极、四个沿周向对称分布的格栅形平面电极、四对沿周向对称分布的外围点状平面电极A、四个沿周向对称分布的外围点状平面电极B、四对沿周向对称分布的条形平面电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN112379128A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN202011420804.9

申请日：2020-12-08

Applicant: 中北大学 ,  中国人民解放军陆军步兵学院石家庄校区

Inventor： 曹慧亮 ,  刘丽 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  崔让

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及谐振式微机械加速度计的标定补偿方法，具体是一种基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法。本发明解决了现有谐振式微机械加速度计标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限、容易导致系统的测量和控制精度降低的问题。基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）将谐振式微机械加速度计的工作模态设定为谐振模态；2）产生虚拟惯性力；3）对谐振式微机械加速度计进行自标定；4）对谐振式微机械加速度计进行自补偿。本发明适用于谐振式微机械加速度计的标定补偿。