公开(公告)号：CN110967824A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201911329204.9

申请日：2019-12-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 安坤 ,  孟江 ,  何建龙 ,  杨良兴 ,  刘玠 ,  王亚峰

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种集驱动/光反射功能于一体的光束偏转精瞄驱动构件微镜，包括内部镂空的外围基座，外围基座的四个角刻蚀出Pt作为下电极，外围基座中心设有四悬梁结构，四悬梁与外围基座中心基底正上方是微镜，微镜的方框内溅射沉积有金属层Au，悬臂梁上设置有上电极Au。本发明结构合理，工艺简单，集驱动/光反射功能于一体，有效解决现有空间光通信ATP精跟踪系统中精瞄执行器件微镜体积大、调节频率低、响应速度慢、位移分辨率低、可靠性差等技术瓶颈，适用于空间光通信光束偏转精瞄及驱动，实现光束快速对准的精准控制。

公开(公告)号：CN110967824B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201911329204.9

申请日：2019-12-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 安坤 ,  孟江 ,  何建龙 ,  杨良兴 ,  刘玠 ,  王亚峰

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种集驱动/光反射功能于一体的光束偏转精瞄驱动构件微镜，包括内部镂空的外围基座，外围基座的四个角刻蚀出Pt作为下电极，外围基座中心设有四悬梁结构，四悬梁与外围基座中心基底正上方是微镜，微镜的方框内溅射沉积有金属层Au，悬臂梁上设置有上电极Au。本发明结构合理，工艺简单，集驱动/光反射功能于一体，有效解决现有空间光通信ATP精跟踪系统中精瞄执行器件微镜体积大、调节频率低、响应速度慢、位移分辨率低、可靠性差等技术瓶颈，适用于空间光通信光束偏转精瞄及驱动，实现光束快速对准的精准控制。