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公开(公告)号：CN114894311A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210296662.2
申请日：2022-03-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明属于广义椭偏仪技术领域，具体涉及一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，包括高波段测量系统、样品和低波段测量系统，所述低波段测量系统包括起偏臂一和检偏臂一，所述样品设置在起偏臂一的光路方向上，所述检偏臂一设置在样品的透射光路方向上，所述高波段测量系统包括起偏臂二和检偏臂二，所述样品设置在起偏臂二的光路方向上，所述检偏臂二设置在样品的反射光路方向上。本发明使用两个系统去单次完成整个宽光谱范围的测量，只需要将整个宽谱段进行合理的分解，使得每个分解出来的谱段能在单独的系统中完成测量即可，通过本发明结构所设计出的广义椭偏仪单次可测得的光谱范围可以比现有的广义椭偏仪的单次可测得的光谱范围都宽。
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公开(公告)号：CN114894311B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210296662.2
申请日：2022-03-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明属于广义椭偏仪技术领域，具体涉及一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，包括高波段测量系统、样品和低波段测量系统，所述低波段测量系统包括起偏臂一和检偏臂一，所述样品设置在起偏臂一的光路方向上，所述检偏臂一设置在样品的透射光路方向上，所述高波段测量系统包括起偏臂二和检偏臂二，所述样品设置在起偏臂二的光路方向上，所述检偏臂二设置在样品的反射光路方向上。本发明使用两个系统去单次完成整个宽光谱范围的测量，只需要将整个宽谱段进行合理的分解，使得每个分解出来的谱段能在单独的系统中完成测量即可，通过本发明结构所设计出的广义椭偏仪单次可测得的光谱范围可以比现有的广义椭偏仪的单次可测得的光谱范围都宽。
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公开(公告)号：CN114264616A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111580012.2
申请日：2021-12-22
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于椭偏仪技术领域，具体涉及一种全穆勒矩阵椭偏仪的双电机自动变角系统结构，所述起偏臂整体结构设置在底板上，所述底板上设置有第一步进电机，所述第一步进电机上设置有检偏臂整体结构，所述检偏臂整体结构上设置有样品载物台结构。本发明采用卧式的结构方式，两臂的转轴处则基本不承受径向扭矩，仅提供角度旋转的扭矩即可，精度控制难度较低，且承载样品时去除了繁琐的真空吸附装置，采用了利用磁铁进行夹持样品的方式，结构简单，且易于实现。另外本发明是分别采用两个步进电机带动的检偏臂和样品台旋转，起偏臂固定，这种方式减小了起偏臂旋转时因抖动而造成的系统测量误差，极大地提高了穆勒矩阵椭偏仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN113188457B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202110441719.9
申请日：2021-04-23
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于补偿器同步旋转结构技术领域，具体涉及一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，小同步齿轮、大同步齿轮与伺服电机轴伸端同轴固定连接，小同步齿轮通过第一齿形皮带与第一锥齿轮同步齿轮啮合，第一锥齿轮同步齿轮与第一直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第一直齿锥齿轮主动轮与第一直齿锥齿轮从动轮啮合，大同步齿轮通过第二齿形皮带与第二锥齿轮同步齿轮连接，第二锥齿轮同步齿轮与第二直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第二直齿锥齿轮主动轮与第二直齿锥齿轮从动轮啮合。本发明通过一个伺服电机带动起偏臂和检偏臂上的两个相位补偿器以不同的速度比同步旋转，并且单伺服电机的控制方式和最终信号的触发采集也更为简洁。
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公开(公告)号：CN113188457A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110441719.9
申请日：2021-04-23
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于补偿器同步旋转结构技术领域，具体涉及一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构，小同步齿轮、大同步齿轮与伺服电机轴伸端同轴固定连接，小同步齿轮通过第一齿形皮带与第一锥齿轮同步齿轮啮合，第一锥齿轮同步齿轮与第一直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第一直齿锥齿轮主动轮与第一直齿锥齿轮从动轮啮合，大同步齿轮通过第二齿形皮带与第二锥齿轮同步齿轮连接，第二锥齿轮同步齿轮与第二直齿锥齿轮主动轮同轴固定连接，第二直齿锥齿轮主动轮与第二直齿锥齿轮从动轮啮合。本发明通过一个伺服电机带动起偏臂和检偏臂上的两个相位补偿器以不同的速度比同步旋转，并且单伺服电机的控制方式和最终信号的触发采集也更为简洁。
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